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这种情况比较复杂，因为周围气体介质即使稍微漏入真空腔内，也会使其真空度降低。如果漏入了腐蚀性气体,真空设备就可能损坏。在很多情况下，真空度和真空空间的洁净，对真空条件下进行的各种工艺过程的质量有决定性的影响。

　　真空器件所使用的机械密封在结构上并无特殊之处。对于上述的一种情况，通常是采用气密性好的金属波纹营型单端面机械密封。第二种情况则要用双端面机械密封，若使用单端面密封，势必存在密封端面不能获得润滑的问题。

密封面内圆柱面上的伤痕很可能是外面的杂物进入密封面或安装不当造成的。密封面上的环形沟槽，多数是固体微粒沉积于密封面而引起的。

石墨环（动环）的裂纹是由于传动件的振动，橡胶圈的涨大以及石墨环本身的内应力造成的，而结焦则是因高温所致，这在炼油厂的高温热油介质中是常见的。

2.1 O形密封圈

　　O形密封圈简称O形圈、工程机械用液压元件及液压系统中 常用的是橡胶O形圈。它成本低廉，密封性好，使用范围宽。例如，工作压力以1.333×10-5到400MPa，温度从-60℃到200℃。

　　实践证明，O形橡胶圈有如下优点：密封部位结构简单，安装部位紧凑，质量轻;有自封作用，往往只用一个密封件便能完成密封;密封效果好——用于静密封时几乎可以实现‘零泄漏’，用于往复运动密封时其密封性能不变、介质泄漏量甚少;运动阻力很小，对压力交变的工作条件适应性好;O形密封圈尺寸及安装沟槽(形状、尺寸、技术要求等)已标准化，便于采购、安装和维修。检查压盖与轴外径的配合间隙，四周要均匀，各点允许偏差不大于0。

安装机械密封过程中，应保持清洁，且不允许用工具敲打密封元件，以防损伤和***;

安装时，动、静环表面应涂上一层清洁的机油和透平油。辅助密封圈安装前也需涂一层清洁的机油或透平油，以保证安装顺利;

将静环密封圈套在静环背部后，装入密封端盖内，要注意勿伤静环端面，要保证静环端面与端盖中心线垂直，且注意静环背部的防转槽要对准防转销，但不能相接触;

机械密封之转动部分，依靠弹簧座上之两个固定螺钉与轴固定，拧紧固定螺钉时，要保证弹簧的工作长度。