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这种情况比较复杂，因为周围气体介质即使稍微漏入真空腔内，也会使其真空度降低。如果漏入了腐蚀性气体,真空设备就可能损坏。在很多情况下，真空度和真空空间的洁净，对真空条件下进行的各种工艺过程的质量有决定性的影响。

　　真空器件所使用的机械密封在结构上并无特殊之处。对于上述的一种情况，通常是采用气密性好的金属波纹营型单端面机械密封。第二种情况则要用双端面机械密封，若使用单端面密封，势必存在密封端面不能获得润滑的问题。

密封面内圆柱面上的伤痕很可能是外面的杂物进入密封面或安装不当造成的。密封面上的环形沟槽，多数是固体微粒沉积于密封面而引起的。

石墨环（动环）的裂纹是由于传动件的振动，橡胶圈的涨大以及石墨环本身的内应力造成的，而结焦则是因高温所致，这在炼油厂的高温热油介质中是常见的。

对于质量较差的石墨环（动环）来讲，其内部气孔较多，这是因为在制造过程中，聚集在石墨内部的气体膨胀将碳微粒吹出的所致，因此这种低质的石墨环在密封启用中，其碳微粒很容易脱落，而使密封面在密封停用时粘住。

1999 年，Burstein和探讨了随机分布激光加工端面微孔尺寸对机械密封承载能力的影响。（3）安装动环密封圈的轴(或轴套)的端部，安装机械密封的壳体孔的端部结构之倒角和光洁度。相比之下，Etsion 对端面微孔机械密封的研究更为深入。1999年至2006年期间，Etsion针对LST-MS提出了一种新的数学模型，进行了一系列理论及实验研究，建立静压多孔端面干气密封理论，以一定泄漏量下的承载力为目标，对多孔织构参数进行了数值优化。

一渣浆泵机械密封的安装

　　1、检查进行安装的机械密封的型号、规格是否无误。

　　2、检查渣浆泵与机械密封的安装相关联部位的尺寸精度、几何精度和相互关系是否符合技术要求。主要有以下几个方面：

　　（1）安装机械密封部位的轴（或轴套）的径向跳动允差，轴（或轴套）的表面光洁度和外径尺寸公差。