光学薄膜在高真空度的镀膜腔中实现。常规镀膜工艺要求升高基底温度(通常约为300℃);而较***的技术，如离子辅助沉积(IAD)可在室温下进行。薄膜沉积的传统方法一直是热蒸发，或采用电阻加热蒸发源或采用电子束蒸发源。薄膜特性主要决定于沉积原子的能量，传统蒸发中原子的能量仅约0.1eV。薄膜的光学性质，如折射率、吸收和激光损伤阈值，主要依赖于膜层的显微结构。薄膜材料、残余气压和基底温度都可能影响薄膜的显微结构。抗***处理供应


我国已在精密机械、真空技术、光电子技术和光机电自动化控制等领域开展了大量的研究工作，获得了长足的技术进步，并形成了完善的产业集群，这些是研制光学薄膜装备的重要基础。光学镀膜基本结构和原理，其采用非常紧凑的板式开合结构，真空室空间利用率非常高，整体结构也非常紧凑。如果光学镀膜装备领域能牵引光机电、真空机械、薄膜工艺等领域的协同创新，共同研制出属于我们自己的光学镀膜机，将进一步加速我国光学和光电子行业的发展。抗***处理供应


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