液贮槽使用前的准备工作

吹除处理：气密性试验合格后，需要干燥无油的空气对贮槽内筒系统进行吹除处理，用以去除潮湿空气，系统在用干燥空气或氮气吹除之后，还应用产品气体吹除，直到排除气体纯度打到要求为止。

液的操作和储存

操作处置注意事项：密闭操作，加强通风，设有事故强制通风设备，操作人员必须经过专门培训。持证上岗，操作时严格遵守操作规程。充装时要控制充装速度。充装时间不少于30min。液泄漏严防伤。

液 - 制法

采用空气分离提取，即将液化的空气进行精馏，得到粗，粗经进一步提纯可得到高纯。

液 - 用途

高纯在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体；可用作系统清洗、屏蔽和增压用惰性气体；在化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所应用。

液 - 性质

沸点- 185.9℃。熔点-189.2℃。临界温度-122.3C，临界压力4. 893MPa。溶于。不燃烧，***，无腐蚀性。

高纯液在操作过程中的注意事项

高纯液在运输过程中是禁止与可燃性气体同时运输的，明火和热源禁止接触液，只有规范化的操作才能保证安全。

高纯液***在运输过程中是禁止与可燃性气体同时运输的，明火和热源禁止接触液***，只有规范化的操作才能保证安全。液***在钛、钴及其他活性金属的生产中用作屏蔽气；在黑色冶金中，***气用于吹炼特种钢，以提高钢的质量，特别是不锈钢制造中消耗大量***气。充液***前要用少量液***预冷。贮存，停产期间，由于自然挥发的氮气留在槽内，内筒压力会逐渐升高，当内筒压力达到0.8Mpa时，应适当打开放空阀泄压。