该泵跟旋片式,定片式真空泵相比较,由于滑阀结构本身固有的特点,它的抽气速率范围较大(8~1000 L/s),而旋片泵的抽速大为70 L/s;极限真空高、耐用、操作较为方便、维修较为容易。为此,该泵当之无愧成为真空冶金常用的泵类。
罗茨真空泵由于是利用两个呈8字形断面的转子以相反的旋转方向(用齿轮系统保证)在泵腔中进行吸气和排气的。结构特点是转子与转子、转子与泵腔壁之间有一定的间隙(约0.2 mm)因而不需要用油润滑。而且转子具有良好的几何对称性,因而可高速转动(1 000~3 000 r/min)。在很宽的压力范围内(1×103~1Pa)具有很大的抽速(30~20 000 L/s)。能迅速排出突然放出的气体,弥补了扩散泵和油封机械泵在(1×103~1 Pa)时抽速都很小的缺陷。因而它适合作为机械增压泵而用。
它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。升华泵即属于这种型式。
3)吸气剂离子泵
它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上,以达到抽气的目的。它有如下几种型式。
⑴蒸发离子泵:泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华(或蒸发)而覆在泵内壁的吸气材料上,以实现抽气的一种真空泵。
⑵溅射离子泵:泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅射散出来的吸气材料上,以实现抽气目的的一种真空泵。
2.完全干式的罗茨真空泵
目前,国内的罗茨泵齿轮腔与泵腔、轴承腔与泵腔之间,多采用迷宫密封的方式。这种密封不能隔断泵腔与齿轮腔和轴承腔。
泵在工作过程中,气体和水分会进入齿轮腔与轴承腔,引起两腔内的油乳化,大大缩短了轴承和齿轮的寿命。在真空灌装、化工蒸馏气体等真空作业中,抽吸时需要抽气速率大于1450L/s并且要求在入口压力2500~6000Pa的条件下,真空泵能长期安全工作。
因而,必须研发完全隔断泵腔与轴承腔和齿轮腔的罗茨真空泵,隔断的密封形式也有待进一步的探讨。
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