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（一）、罗茨真空泵定期检查：1、每日检查：a）油位检查：油量过多，使温度升高，油量过少，造成润滑不良。b）温度检查：用温度计检查泵各部位温度。c）电动机负荷检查：用功率表或电流，电压表测量电动机负荷。2、罗茨真空泵每月检查：联轴器及垫片是否损坏和松动。3、罗茨真空泵每3个月检查：齿轮箱内润滑油是否变质。4、罗茨真空泵每6个月检查：a）前盖轴承箱内润滑油是否变质。b）活塞环及活塞环衬套是否磨损。c）齿轮微量程度的磨损对转子正常运转是否产生影响，是否需要调整。

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2.反压强反压强是指扩散泵所允许的前置压强值。如果前级泵所产生的压强高于反压强，则扩散泵就不能正常工作。3.抽气速率扩散泵的抽速可根据气体分子运动理论来推算出来。4.设置冷阱及低温挡板的原因由于扩散泵喷嘴喷出来的油蒸气分子，大部分由泵壁冷凝，这是因为泵壁外设置冷却水套或冷却管道的缘故。但是有少部分蒸气分子被泵壁反射，散射会返回被抽空间，这种现象在低温实验室中要特别注意。如在扩散泵和被抽容器之前加上冷阱或低温挡板，这样就能使返加的蒸气被冷凝下来，截止了油蒸气的返流。

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容器压强---时间曲线如果真空炉的压升率是种情况（曲线a ）,可以从以下几种情况查找原因：

A ：机械泵抽气速率过低或真空度不高。旋片泵的结构、工作原理及故障维修见机械泵的使用说明书。

B：罗茨泵抽气速率过低或真空度不高。罗茨泵的结构、工作原理及维修间罗茨泵使用说明书。

C：K型高真空油扩散泵抽气速率过低。K型高真空扩散泵的工作原理及注意事项见高真空油扩散泵使用说明书。