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前级泵的配置及抽速确定

主真空泵选定之后,如何配置前级泵，需遵守的原则是：

① 求前级泵造成主真空泵工作所需的预真空条件；

② 抽走主真空泵产生的气体量；

③ 必须满足主真空泵进气口能工作的压力时所需的预抽时间要求。

不同的主真空泵，其前级泵配置各异，分述如下。

1、真空泵的抽气速率：

真空泵的抽气速率单位是m3/h、l/min或l/s，是指泵装有规范尝试罩，并按规程条件作业时，从尝试罩流过的气体流量与在尝试罩地位测得的失调压强之比。简称泵的抽速。

2、真空泵的极限压强:

泵的极限压强单位是Pa，是指泵在出口处装有规范尝试罩并按规程条件作业，在不引入气体畸形作业的状况下，趋势稳固的工业气压强。