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真空泵油具备空气氧化可靠性：长期性在高溫标准下与气体、环氧树脂、化工原料等直接接触亦不容易霉变，降低危害漆层和油污的产生，提供较长的换油周期时间。防锈处理防腐蚀性：能在金属表层 产生十分合理的防腐蚀膜，进而能够 避免因吸进腐蚀性汽体和水分而造成 的系统软件浸蚀。能快速将液压油中带入的水分提取，做到需要的真空值。具较底的饱和蒸汽压，避免成品油从泵的内壁向真空系统反流外扩散导致返油。进而确保有充足的限真空泵。

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在各式各样真空机械设备中，凡运用机械方法不断变更泵内呼吸容腔的容积而获得真空的泵常称机械真空泵。在机械真空泵中真空油不仅作获得真空的化学物质，而且仍在机械摩擦预制构件起润滑作用和致冷作用。 机械真空泵可分为往复式（或称活塞式）真空泵、机械增压泵和油封机械真空泵等。往复式真空泵常用于真空蒸馏、真空蒸发、真空浓缩和真空干燥等工艺。

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真空泵油顾名思义就是使用在真空泵里的润滑油 除了要具有一般润滑油所谓的润滑，冷却，，油水分离等等的特点外，比较强调的是在低压状态下，轻质组分要比常规的油品少很多，通俗的讲，就是你抽真空时不会抽出油气来，这样的话，你的真空泵很快达到真空效果，而不至于抽来抽去，真空度老是上不来，这就要求油品精炼程度要高，必要的时候要选用合成油!

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（3）高真空泵 极限压力在10-1~10-5Pa的真空泵归属于高真空泵。广泛的高真空泵有各式各样扩散泵及分子泵等。 （4）超高真空泵 极限压力低于10-5Pa的真空泵归属于超高真空泵。超高真空泵重要有各式各样离子泵、低温泵等。