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上面讨论的机械泵只有一个转子，称为单级旋片式真空泵，它所能达到的极限压强为1Pa。为提限压强，通常采用双级泵结构，即将两个单级泵串联起来，可使极限压强达到  Pa数量级。特点成本低廉、经济耐用

• 工作范围：大气~低真空
• 极限真空：10-3 torr (0.1Pa)
• 缺点：返油、振动

使用与维护

更换机械泵油

• 清洁抽气入口处滤网
• 维护油过滤器滤芯
• 
  
• 二.罗茨泵
  

罗茨真空泵（简称：罗茨泵）是指泵内装有两个相反方向同步旋转的叶形转子，转子间、转子与泵壳内壁间有细小间隙而互不接触的一种变容真空泵。罗茨真空泵在石油、化工、塑料、、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验，所以应该在国内大力推广和应用。同时也广泛用于石油、化工、冶金、纺织等工业。真空泵配件作为真空泵，用于真空泵的噪声治理。

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性能参数

通常扩散泵的性能是以极限真空、反压强、抽气速率以及设置冷阱或低温挡板而定。1.极限真空如果对一般油扩散泵的结构进行改进，如减少油蒸气的返流，加分镏装置，合理分配加热功率，改进喷嘴角度设计，加以挡油帽、障板或冷阱、吸附阱等，就能使扩散泵性能大大改善，极限真空可达到更低的压强。油扩散泵工作压力范围是10^-1~10^-6Pa，起始压力正好是机械泵的极限压力，因此，油扩散泵通常要利用机械泵作为前级泵，将真空度抽到10^-1Pa后才能开始工作。

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容器压强---时间曲线如果真空炉的压升率是种情况（曲线a ）,可以从以下几种情况查找原因：

A ：机械泵抽气速率过低或真空度不高。旋片泵的结构、工作原理及故障维修见机械泵的使用说明书。

B：罗茨泵抽气速率过低或真空度不高。罗茨泵的结构、工作原理及维修间罗茨泵使用说明书。

C：K型高真空油扩散泵抽气速率过低。K型高真空扩散泵的工作原理及注意事项见高真空油扩散泵使用说明书。