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。一台高真空泵和一台低真空泵难于组成有效的高真空机组。这有几方面的原因。流量的连续性就是其中之一。高真空泵都有前级耐压的限制,即前级高于某一压力,泵就不能正常工作。而当前级泵达到这一临界压力时,往往抽速会减小,这样前级泵的排气流量可能会小于主泵的排气流量,这种流量的不一致***了流量连续性的要求,必然会引起真空机组不能正常工作。
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而分子增压泵吸入压力高,减缓了前级泵的预抽负担。分子增压泵可以在100-50Pa工作,前级泵从大气到这一压力,基本遵从每经过时间压力降低一个数量级的规律,因此,机组可以具有很高的抽气效率。简化高真空机组,取消罗茨泵是分子增压泵的又一个优势。对于较大型的高真空应用设备,也可适当加强前级泵的预抽能力,进一步缩短抽气时间,由于预抽时间与整个排气过程相比很短,所以前级泵的使用时间也很短,因此可以兼作多套设备的预抽作用,而这往往是非常现实的。这就使规模化应用的真空机组得到大大的简化。
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随着真空技术在各个应用领域的不断扩大,直联旋片泵的需求量越来越大。由于这种泵数量很多,加工装配工作量很大,价格又很低,所以有的国外真空厂商在中国建立***厂。国产中小型直联旋片泵在技术上已经过关,价格又远比国外的泵便宜,所以国产泵仍然有竞争优势,关键是要解决轴封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能质量问题,确保直联泵在高速、高温下性能稳定和运行可靠,同时还要进一步提高国产直联旋片泵抽除水蒸气的能力。
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