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是一种无内压缩的真空泵,通常压缩比很低,故高、中真空泵需要前级泵。靠泵腔内一对叶形转子同步、反向旋转的推压作用来移动气体而实现抽气的真空泵。罗茨真空泵是指具有一对同步高速旋转的鞋底形转子的机械真空泵,此泵不可以单独抽气,前级需配油封、水环等可直排大气。它的结构和工作原理与罗茨鼓风机相似,工作时其吸气口与被抽真空容器或真空系统主抽泵相接。这种真空泵的转子与转子之间、转子与泵壳之间互不接触,
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工作原理
旋片式真空泵多为中小型真空泵。旋片式真空泵有单级旋片真空泵和双级真空泵两种。所谓双级旋片式真空泵,就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的,以获得较高的真空度。
旋片式真空泵的抽速与入口压强的关系规定如下:在入口压强为1333Pa、1.33Pa 和 1.33×10-1(Pa)下,其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和 20%。
图二是双级泵工作原理图,它由两个单级泵串联组成。工作时,被抽气体首先经吸气筒进入高真空级。 当吸入气体压强较高时,一部分气体由排气阀2排出,另一部分气体经低真空级,由排气阀1排出。 当吸入气体压强较低时,虽经高真空级压缩,但排气阀2仍不能打开排气,只能经低真空极继续压缩,由排气阀1排出,因双级泵的极限真空比单级泵高。
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