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.带蒸汽冷凝器的罗茨泵：在需要抽吸蒸汽情况下，抽气机组必须设计会使蒸汽冷凝的冷凝器，这个冷凝器可装在泵之前或装在泵之后，而不装在罗茨泵的泵体上。在某种情况下，冷凝特升化吸热能够减少罗茨泵发热。假设采用了复式冷凝器，在维修时可用适当的溶剂清除污垢，蒸汽就能顺畅地在导管中流动。从特征曲线可以看出当达到极限真空时，通过泵入口的正向气流量为零，既泵的实际抽速为零，式：PC和PR事实就是前级泵和罗茨真空泵的极限压力，达到极限真空是几乎为分子流状态，将其导通能力带入式中。

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2.反压强反压强是指扩散泵所允许的前置压强值。如果前级泵所产生的压强高于反压强，则扩散泵就不能正常工作。3.抽气速率扩散泵的抽速可根据气体分子运动理论来推算出来。4.设置冷阱及低温挡板的原因由于扩散泵喷嘴喷出来的油蒸气分子，大部分由泵壁冷凝，这是因为泵壁外设置冷却水套或冷却管道的缘故。但是有少部分蒸气分子被泵壁反射，散射会返回被抽空间，这种现象在低温实验室中要特别注意。如在扩散泵和被抽容器之前加上冷阱或低温挡板，这样就能使返加的蒸气被冷凝下来，截止了油蒸气的返流。

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1、油雾滤清器（油雾分离器,排气过滤器,排气滤芯).滤材制成，压差为0.3bar,残油量为1-3ppm,耐静电防腐蚀。

进口真空泵油雾分离器在推动力的作用下，位于一侧的油气混合物中的通过真空泵油雾分离器的滤纸及棉质。油则被截留，从而实现气体与真空油的分离操作过程。被过滤掉的真空泵油随着回油管进行循环利用，排出的则是无油的废气，而达到无污染，洁净的效果。

2、空气过滤器（空气滤芯）：容灰量高,过滤效果佳,能耗低。

进口真空泵的滑动的空隙很小，外来的介质含颗粒、污垢，会***滑动面，豁附或阻塞泵的滑动面，造成泵不能正常工作。为了防止外来物被入泵中，需要使用过滤器来阻挡其进入泵中。万一有空气杂质没有过滤清掉，进入泵浦内，可能导致油管堵塞,润滑油变混，所以选择空气滤芯，必须要选择进口的。

工作原理

旋片式真空泵多为中小型真空泵。旋片式真空泵有单级旋片真空泵和双级真空泵两种。所谓双级旋片式真空泵，就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的，以获得较高的真空度。

旋片式真空泵的抽速与入口压强的关系规定如下：在入口压强为1333Pa、1.33Pa 和 1.33×10-1(Pa)下，其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和 20%。

图二是双级泵工作原理图，它由两个单级泵串联组成。工作时，被抽气体首先经吸气筒进入高真空级。 当吸入气体压强较高时，一部分气体由排气阀2排出，另一部分气体经低真空级，由排气阀1排出。 当吸入气体压强较低时，虽经高真空级压缩，但排气阀2仍不能打开排气，只能经低真空极继续压缩，由排气阀1排出，因双级泵的极限真空比单级泵高。