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不同测量范围的加热电流也有差异。因此，在使用热偶计时，应按不同的量程确定规管的加热电流。①10～10-1Pa量程：规管须垂直倒置，在真空度优于10-2Pa时调定加热电流(此时热电势为10mV，即满刻度)，其加热电流可调节范围为95～150mA。②102～10Pa量程：规管须垂直倒置，在0.1MPa时调定加热电流，其加热电流可调节范围为175～300mA或以上。

热偶计规管的结构较电阻式规管复杂一些，但p-E校准曲线受外界温度的影响较小。 MEMS传感器具有小型化、低成本、、易与CMOS集成电路兼容等特点。在不同类型的MEMS传感器中， 很普遍、应用 很广泛的是压阻式和电容式传感器。与压阻式传感器相比，电容式传感器具有灵敏度高、温度系数低、功耗低等优点。

MEMS电容薄膜真空计作为MEMS电容式传感器的一种，能够满足深空探测、空气动力学研究、临近空间探索等领域对真空测量仪器测量准确度高、体积小、质量轻、功耗低的应用需求，具有广泛的应用前景。MEMS电容薄膜真空计包含真空规管和测量电路两个部分。其中，真空规管将真空度转化成电容量，测量电路对电容量进行处理得到真空度的值。MEMS电容薄膜真空规管初始电容量的范围为几到几十皮法，其电容变化量为几飞法甚至更小。

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2022年，将再次鼓足干劲扶持关键技术科技攻关，做好现阶段产品提升升级和品牌推广，做好后面的深度开发和科技成果转化，为所高质量发展作出贡献，以身体力行为建设重大工程的顺利进行给予高靠谱准确测量技术性确保。

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气体的真空磁导率比灯丝的直徑大许多时，Qg根据随意分子结构的导热被表明为式中α———适度参量；Λ———分子结构的热传导率；d———灯丝直徑；a———灯丝长短；T———灯丝温度；T0———金属材料圆桶的温度；p———气体气体压强。Qs和Qr可以各自表述为式(4-8)意味着电级的导热，在其中S是灯丝的断总面积，κ是固态的热传导率，L是电级的长短。式(4-9)意味着辐射热，σ和ε分别是玻尔兹曼参量和固态辐射率。假如维持T和T0一定，则式(4-8)和式(4-9)为参量。

假如用I20R表明一定量的固态导热和辐射热，则式(4-6)可以表述为I0是灯丝的电流量，持续填补固态导热和辐射热而提供的热能损害。A不是依附气体压强的参量。假如已经知道灯丝的电阻器R、电流量I0及参量A，则可以根据式(4-10)求取气体压强p。热电阻真空计的气体压强检测范围在0.1～300Pa，具备下列优势：(1)构造简易、非常容易生产制造、非常容易实际操作；

工作中温度、工作标准电压较低；(3)测定读值为全气体压强，而且可以完成长距离的连续性准确测量。可是，热电阻真空计具备受温度危害大、读值時间落后、读值因气体类型而异、读值必须校正等缺陷。二、热偶真空计工作中特点热偶真空计是相对性真空计，其工作压力-热偶电势差相匹配值无法用计算方式准确求取，因而，经常在规范自然环境情况下，用肯定真空计或用校正系统软件经校正明确。