广州潽拓光电科技有限公司--瑞士英福康真空计养护维修；

inficon真空紧凑型的校准泵组就能够组建起这样一个系统。谱拓认为这个易于使用的便携式系统是专为同时在线进行多个仪器检测而量身定做的。其系统具有使用便捷、快速及符合***工学标准的特点。

校准要求

在进行校准前，必须满足如下条件：

■系统极限压力ρE必须超过 很小校准压力ρmin的50倍

(ρE≤ρmin/50)

■环境温度必须恒定(±1°C)

■校准系统必须热稳定

■标准真空计和其他真空计在测量时真空度必须稳定

inficon真空解决方案

inficon真空提供了一套紧凑、便携的泵组用于校准。这套泵组由一套涡轮分子泵组(例如，HiCube80Eco)和一个采用玻璃珍珠喷沙工艺的不锈钢腔体组成。

涡轮分子泵组由一个带Holweck级的(HiPace80)涡轮分子泵和一款干式压缩隔膜泵(MVP015-2)组成。这款泵组的抽速 很高可达67l/s并且 很终真空度可达110-7 hPa。

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电容-数字信号转换器原理图电路芯片利用IBM0.13umCMOS技术制造，CMOS电路板的尺寸为1950umx1850um，有效电路尺寸为263umx354um，采用2.5V电源供电，功率消耗约为0.69mW。在-20～225℃温度范围内，电路精度可达到2.4%，分辨率可达到1.44fF。

电容-数字信号转换器电路布局和芯片显微照片2.双侧电极微小电容测量敏感电容为双侧电极结构的inficon电容薄膜真空规管结构 ，敏感薄膜上的电极与上下硅基底上的电极构成了两个随真空度变化而变化的敏感电容。差动结构的敏感电容配合差动电路能准确感知薄膜的微小变化、减小寄生电容和耦合电容的影响、提高测量的共模***比，从而提高整个系统的分辨率，因此通常采用功耗低、易小型化集成的开关电容电路来构成差动测量电路。而随着inficon传感器的广泛应用，具有可调性、能满足不同设备需求的电路也比较受关注。

图5双侧电极inficon电容薄膜真空规管结构图官设计了一种具有可调灵敏度的针对差动电容结构的inficon电容式传感器的信号测量电路。 电路包括传感器电容CX1、CX2，寄生电容CP，输入阻抗缓冲器R，前置可编程放大器，一个单位增益的反相放大器，相敏解调器，可调方波时钟发生器，低通滤波器（LPF），可编程输出放大器。可编程放大器提供了多个增益，使得电路可以根据信号的输入强度及要求来选择合适增益。

.inficon真空计的特性？答：inficon真空计是一种肯定真空计，可以得出被测压力的平方根。但inficon计只有测量被测汽体中汽体的分气体压强，不可以测量在其中可凝气体的气体压强。2.导热真空计的基本原理？根据哪些量的测量来体现导热的转变？

答：导热真空计是根据低电压汽体的导热与工作压力相关这一状况来开展测量的。它可以根据热丝电阻器的变动来体现溫度的转变，进而体现导热的转变，用此类测量方式的真空计称之为传热系数真空计，又称之为皮拉尼真空计。还可以同时用热电阻测量热丝的气温改变来体现导热的转变，称之为热偶真空计。

危害导热真空计测量低值的原因是什么？答：热丝的发热量除开汽体热传导外，还能够顺着热丝自身向两边热传导，即固态热传导；还能够以扩散的方法热传导，这二种换热方法与工作压力不相干，当工作压力较低，汽体的传发热量显著小于固态的换热和幅射热传导时，就不可以体现工作压力的变动了，即做到了测量的低值。

真空检漏的实际意义？答：真空系统软件的限真空决策于系统软件的抽速和漏汽量，故在抽速一定时，漏气量就选择了真空度，欲使系统软件实现设定的限真空，务必根据检漏和补漏使体系的漏汽量操纵在容许漏率范畴内。

从基本原理上讲，真空检漏可分成哪两类？答：可以分成：1）工作压力检漏法，包含①打气检漏法，②卤素灯泡检漏法，③氨检漏法。2）真空检漏法，包含①高频率火苗检漏法，②真空计检漏法，③质谱仪检漏法。

概述真空泵的抽真空基本原理。答：1）利用缩小***将汽体清除到泵外。a.机械设备周期时间式胀大缩小，b.蒸气流黏滞牵引带缩小，c.刚度表层的牵引带缩小。2）利用吸咐***将汽体拘束于泵内。a.利用水解呼吸***，b.利用物理学吸咐和有机化学吸咐***。