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作者:潽拓光电2021/12/9 14:19:24






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广州潽拓光电——涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。

这种泵通常在分子流状态下工作。



分子泵的原理

       分子泵是一种动量型真空获得设备,子分子流态下,气体分子与高速运动的表面发生碰撞获得一定方向的动量,从而使气体分子得到逐级压缩,后被抽除。



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发展真空技术,助力半导体行业我国是世界大的半导体消费市场,但产业链整体价值水平较低,尤其是关键材料与核心设备和零部件方面,存在较大国外品牌依赖。例如,薄膜沉积、刻蚀、离子注入等半导体制造中关键工艺过程核心部件——磁悬浮分子泵,长期被国外垄断。面对“卡脖子”问题,中科科仪积极响应***需求,承担科技部《极大规模集成电路制造技术及成套工艺》专项中“磁悬浮分子泵系列产品开发与产业化”项目,攻克多项关键技术,于2011年成功研制国内第i一台磁悬浮分子泵,打破国外产品垄断。安捷伦科技公司分布在40多个***的42,000名员工和设施为***120多个***的市场领*客户提供服务。varian真空分子泵用途

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品牌:阿尔卡特                                 型号:AC-200                                材质:铸铁                                             驱动方式:电动泵                             轴位置:卧式                                叶轮结构:封闭式叶轮

叶轮数目:多级                                   叶轮吸入方式:单吸式                       性能:无***

流量:20(m3/h)                              扬程标准:(m)                             汽蚀余量标准:(m)

轴功率标准:(kW)                            吸入口径标准:(mm)                    排出口径标准:(mm)









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