潽拓——{精}，分子泵

广州潽拓光电成功维修 莱宝真空泵半磁浮分子泵TURBOVAC 350 i

       莱宝真空泵半磁浮分子泵TURBOVAC 350i

工作原理

    涡轮分子泵转子是一个带叶片的涡轮，快速旋转的叶片将动量传输给气体分子，将起初无方向性的热运动变成有定向运动。

    涡轮分子泵的抽气过程就是使气体分子从进气口法兰定向运动到前级真空口。

     在分子流范围——也就是在低于10-3mbar(0.75x 10-3Torr)的压强时，气体分子的平均自由行程大于转子与定子叶片之间的间距(典型为十分之零点几毫米)，分子主要与转子叶片碰撞，所以

抽气过程非常。

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分子泵设计理念

     莱宝真空针对不同应用提供基于不同轴承和转子技术的涡轮分子泵。如TURBOVAC系列机械轴承标准分子泵；TURBOVAC

     MAG系列磁悬浮轴承分子泵；TURBOVACi/iX系列半磁浮分子泵（半磁浮分子泵仅在排气端配置脂润滑轴承，高真空端配置免维护的永磁轴承）。莱宝真空的分子泵均不采用油润滑轴承可以从理论上完全避免分子泵对腔体产生碳氢化合物污染并且保证所有分子泵均可以任意角度安装。

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