我司从事机电自动化，光电存储媒体，半导体，医liao，太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修，销售，设计，开发及系统工程，软件开发，leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwa***,Osaka,ULVAC,Shimadzu等一线品牌分子泵,真空泵,真空计***维修***/销售等业务。该泵的双级设计使其可以在较低工作温度下使用，并***da限度减少低压强造成油蒸汽的回流现象，同时在10-2mbar的低压范围内具有良好的抽气速率和气镇效果。

广州潽拓光电——出售Agilent安捷伦Turbo-V903涡轮分子泵及***维修

真空泵的维修

旋片真空泵长期使用后，会出现真空度下降、密封处漏油、真空泵转动停滞、甚至发生“卡死”、油污染严重、真空泵腔生锈、旋片有大的撞击声、真空泵腔内落入硬物划伤真空泵腔、造成真空泵过热等异常现象，此时必须对真空泵进行拆洗。其步骤为，

1、切断电源，将真空泵从真空系统上卸下，

2、用重力法或加压法将脏油放出并收集起来，以免污染环境;

3、卸下皮带、皮带轮积键(双级旋片真空泵包含皮带);

4、先拆低真空端，取下后端盖，再取出低真空转子、旋片及弹簧等;

5、将前端盖拆下，取出高真空转子、旋片及弹簧等;

6、取下视镜、排气阀、排气盖等;

7、装配时，先装后级，将弹簧、旋片托起装入转子内，然后放入真空泵腔.装上前端盖.再装***销.均匀对称地拧紧螺钉。装配后.应保证转动灵活、均匀。装好前级转子及后端盖后，再装排气阀(排气阀片应贴紧阀座)及其它件，如气镇装置等。

AgilentTurbo-V903安捷伦涡轮分子泵进气法兰口ISO160F，出气法兰口KF25，抽速可达到680L/s

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Shimadzu EI-D303M岛津磁悬浮分子泵控制器输入电压单相AC100～120/200～240V，额定频率750Hz，*大所需电力0.55kVA，日本岛津EI-D303M磁悬浮分子泵电源可以控制的分子泵有Shimadzu TMP-303M/MC、TMP-303LM/LMC等

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薄膜沉积设备薄膜沉积指在晶圆表面生成多种薄膜，这些薄膜可以是绝缘体、半导体或导体。它们由不同的材料组成，是使用多种工艺生长或沉积的。通用的沉积技术有化学气相淀积（CVD）、蒸发和溅射PVD。牵引分子泵的优点是启动时间短，在分子流态下有很高的压缩比，能抽除各种气体和蒸气，特别适于抽除较重的气体。一般来说，其中还要夹杂低温（≤500℃）退火工艺等热处理工艺，用以增进金属层和半导体之间的低电阻接触、消除内应力等。设备运行过程中需要高洁净的真空环境，一般采用以磁悬浮分子泵为主的无油真空系统。 瓦里安分子泵用途