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5大防腐特性

嵌入式75°C加热系统

惰性气体吹扫

5轴控制

自动平衡系统

高通量应用

ATH 400 M,ATH 1000M,TH1300M 是专为高压、

高通量的半导体工业以及其他薄镀膜工艺而设计。

紧凑而现代的设计

高平均无故障时间

使用成本低

可调节转速以优化抽气时的参数

低噪音低振动

无需电池

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光刻机光刻机是生产大规模集成电路的核心设备，制造和维护需要高度的光学和电子工业基础，世界上只有少数厂家掌握，因此光刻机价格昂贵。光刻机光刻过程必须在高真空环境中实现，原因是极紫外光很娇贵，在空气中容易损耗。同时，在光刻过程中，设备的动作时间误差以皮秒计，这对磁悬浮分子泵的振动值要求极高。广州潽拓——瓦里安分子泵说明书瓦里安分子泵说明书瓦里安分子泵说明书磁悬分子泵广州潽拓光电科技有限公司维修中心，成功维修了大量PVD行业专用分子泵TMP-V2304LM(PB21)。 瓦里安分子泵说明书