varian真空分子泵修复分子泵用途「在线咨询」
作者:潽拓光电2021/11/22 8:51:29






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      分子泵对不同的气体的抽速和压缩比是有显著不同的。压缩比描述的是分子泵对特定气体的压缩能力。在分子泵的排气口压力保持不变的情况下,对压缩比比较大的分子泵来说,气体分子由排气口返流回进气口的量较小,反之,则返流较大。

    在分子泵刚刚开始工作的阶段,由于有大量的气体由进气口被抽到排气口,所以这种返流对实际抽速带来的影响不是很大,而随着进气口压力的下降,分子泵抽下来的气体量在减少,这时,气体返流对抽速的影响也就大起来了。这就是分子泵对小分子气体,特别是氢气的抽气能力较差的原因。安捷伦科技公司分布在40多个国家的42,000名员工和设施为全球120多个国家的市场领*客户提供服务。







分子泵在半导体设备中的应用在半导体生产制造工艺中,分子泵广泛应用于光刻机、薄膜沉积设备、刻蚀设备、离子注入机等关键设备。半导体器件的生产制造工艺极其复杂,需要在高纯度硅片上执行一系列精密的物理或者化学操作,例如掺入相应的其它元素、形成多种金属薄膜和绝缘膜、进行表面的刻蚀处理等。这些复杂的生产制造工艺都需要在分子泵维持的高真空环境下进行,而且对真空系统和真空设备的洁净度也有着很高的要求。·我司紧贴国内外真空行业,市场信息,引进国外及原厂的技术支持,并与国内相关学术单位密切合作,同时捅有德国与日本的在线高速动平衡设备,能根据不同的客户要求制定不同的真空获得方案,诚意为客户选取合适的产品,务求令客户节省成本,提高竞争力。 varian真空分子泵修复


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