Leybold进口分子泵接线图规格尺寸「潽拓光电」

作者：潽拓光电2021/11/20 18:35:35

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广州潽拓光电——磁悬浮分子泵的振动抑制

2000 L 磁悬浮分子泵研制中，遇到复杂振动问题：转子弯曲模态共振; 陀螺效应造成动力学失稳; 叶轮叶片导致转子颤振; 成因复杂的机电耦合模态振动。它们同时出现，严重影响转子稳定性，给振动抑制带来困难，需进行精细的控制器设计。控制器中，对不同振动采用不同方法抑制：陀螺效应依靠交叉反馈控制; 弯曲共振、分子泵叶轮叶片颤振及机电耦合模态振动，依靠各种不同的控制器传递函数相位方法。试验验证了方法的有效性，分子泵平稳升速到24000 r/ min，样机达到了设计真空性能指标。SV系列单级油封旋片泵的特点：1、超qiang的排除水蒸气的能力。

在分子泵转子设计中，转子一阶弯曲模态频率已经尽量保持远离转子da工作转动频率即400 Hz,但其对转子振动的影响依然不能忽略，尤其在高速运行时，陀螺效应造成一阶弯曲振动反向涡动模态频率下降明显。通常认为传统轴承支承的转子，反向涡动很难被激发，但对电磁轴承转子系统，经常可观察到反向涡动被激发出来。因此，在转子工作于整个转速范围内时，均应为弯曲模态振动提供足够阻尼，避免一阶弯曲正向或反向涡动被激发。事实上，如果电磁轴承振动控制不考虑弯曲模态的阻尼,转子静态悬浮时就会把转子弯曲振动激发出来。弯曲共振、分子泵叶轮叶片颤振及机电耦合模态振动，依靠各种不同的控制器传递函数相位方法。