Varian涡轮分子泵控制器分子泵工作原理「潽拓光电」
作者:潽拓光电2021/11/17 22:12:58






我司从事机电自动化,光电存储媒体,半导体,医liao,太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修,销售,设计,开发及系统工程,软件开发,leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwa***,Osaka,ULVAC,Shimadzu等一线品牌分子泵,真空泵,真空计***维修***/销售等业务。”的经营方式,尊敬的真空泵用户朋友们:如果此刻,你的真空设备出现以上故障,欢迎致电。

广州潽拓光电——出售Agilent安捷伦Turbo-V903涡轮分子泵及***维修

真空泵的维修

旋片真空泵长期使用后,会出现真空度下降、密封处漏油、真空泵转动停滞、甚至发生“卡死”、油污染严重、真空泵腔生锈、旋片有大的撞击声、真空泵腔内落入硬物划伤真空泵腔、造成真空泵过热等异常现象,此时必须对真空泵进行拆洗。其步骤为,

1、切断电源,将真空泵从真空系统上卸下,

2、用重力法或加压法将脏油放出并收集起来,以免污染环境;

3、卸下皮带、皮带轮积键(双级旋片真空泵包含皮带);

4、先拆低真空端,取下后端盖,再取出低真空转子、旋片及弹簧等;

5、将前端盖拆下,取出高真空转子、旋片及弹簧等;

6、取下视镜、排气阀、排气盖等;

7、装配时,先装后级,将弹簧、旋片托起装入转子内,然后放入真空泵腔.装上前端盖.再装***销.均匀对称地拧紧螺钉。装配后.应保证转动灵活、均匀。装好前级转子及后端盖后,再装排气阀(排气阀片应贴紧阀座)及其它件,如气镇装置等。

AgilentTurbo-V903安捷伦涡轮分子泵进气法兰口ISO160F,出气法兰口KF25,抽速可达到680L/s


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广州潽拓光电——出售Agilent TV301 N***igator分子泵

Agilent TV301 N***igator分子泵为无油、无污染型,由于叶片转速限制,如果气体分子运动速度较大,泵抽真空就比较困难。

可以看出,涡轮分子泵也是一种机械式真空泵,分子泵的核心部件是旋转叶片和固定叶片。通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止叶片的组合进行抽气的,在分子流区域内对被抽气体产生很高的压缩比,从而获得所需要的真空性能。

特点:

高可靠性,

免维护的陶瓷轴承:

无油,无污染;

平均无故障时间大大增加。

内置控制器可用采用导航控制

简单并节省空间的配置;

导航软件可以轻松地进行远程控制和监控。


分子泵的应用范围包括高能物理和研究、纳米技术、质谱技术、工业真空加工和半导体,并可用作扫描电子显微镜(SEM) 的泵。TURBOVAC361及361C型号名称中有字母“C”的TURBOVAC泵配有吹扫气装置。 Varian TV-301 N*** turbo pump常见用在医*行业,质普议,各类检测仪器,大专院校,研究所的真空设备上.Varian TURBO Pump Controllers V-60 常见用于较老款半导体设备上. 牵引分子泵的优点是启动时间短,在分子流态下有很高的压缩比,能抽除各种气体和蒸气,特别适于抽除较重的气体


    广州潽拓光电科技有限公司注册于2016年07月29日,自成立以来,专注于分子泵,真空领域技术服务。从注油塞处加入干净的真空泵油到视窗口的中心位置,旋紧注油塞不使漏气。在科学研究和技术服务业不断潜心研究,不断进取,完善内部制度。经过不断的努力,使其有着融洽和谐的工作环境、积极进取,秉承着为核,技术为本的研发理念,并向着国内***技术的目标迈进。

广州潽拓光电——***维修Agilent TV70 SEINA 分子泵

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潽拓——Varian涡轮分子泵控制器,分子泵

发展真空技术,助力半导体行业我国是世界大的半导体消费市场,但产业链整体价值水平较低,尤其是关键材料与核心设备和零部件方面,存在较大国外品牌依赖。广州潽拓光电科技有限公司从事高真空设备研制、生产、销售、工程安装及***维修服务于一体的综合性企业,由从事多年真空系统开发,真空设备技术研发,维修工程师,工程师组成的一支技术实力雄厚,充满活力的高素质团队。例如,薄膜沉积、刻蚀、离子注入等半导体制造中关键工艺过程核心部件——磁悬浮分子泵,长期被国外垄断。面对“卡脖子”问题,中科科仪积极响应***需求,承担科技部《极大规模集成电路制造技术及成套工艺》专项中“磁悬浮分子泵系列产品开发与产业化”项目,攻克多项关键技术,于2011年成功研制国内第i一台磁悬浮分子泵,打破国外产品垄断。Varian涡轮分子泵控制器


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