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作者:潽拓光电2021/11/15 22:49:52






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●可排稀有气体和腐蚀性气体

●可连续排大流量气体

●可工作的压力范围(~10-10Pa)




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特点:

      Turbo-V 1K-G 不仅是一台泵。该装置是专门为薄膜沉积设备精心设计的分子泵系统。其叶片级数和泵的整体结构均经过优化,可以在高流速的气氛围下和温度极高的环境中工作。另外,可通过远程机架控制器或泵机一体式控制器来驱动泵。所有这些特点使安捷伦 Turbo-V 1K-G 成为了镀膜工业的真空解决方案。











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