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潽拓光电科技---真空泵的工作压力

1.工艺要求达到的真空度：

真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求，选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级。（如：真空工艺要求100pa(压力)的真空度，选用真空泵的真空度至少要50pa-10pa）。

潽拓光电科技---真空泵的工艺要求的抽气量：

真空泵要求抽气速率（也就是要求真空泵在其工作压力下，排出气体、液体，固体的能力），一般单位：m3/h，L/S,m3/min。也可以提供被抽容器或者反应釜的体积由我们工程师帮你计算选择抽气速率。

潽拓光电科技---真空泵的性能

每台真空泵都有主要的性能指标，如极限真空、抽气速率、抽气量、反压力、起动压力。

1)极限真空是指真空系统或真空泵在给定条件下经充分抽气后所达到的稳定的压力。

2)抽气速率是指对于给定气体，在一定温度压力下，单位时间内从真空泵吸气口平面处抽除的气体容积，单位为Ljs

潽拓光电科技---真空泵型号

Leybold莱宝真空泵、D60C、D40C、D30C、D16C、莱宝真空泵油N62、N62H、LVO100、LVO108批发销售。

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5、安装

 请务必遵守“安装必备条件”。放置或安装真空泵在合适的位置。电器连接必须由***人员操作，必须正确连接电动机。必须正确连接接地线。选择BPG400单一经济型封装，在低成本、可重复的过程中进行基础压力测量。电动机的旋转方向不正确，会在短时间内损坏真空泵。启动真空泵前，请确保真空泵旋转方向正确。电动电动机，根据箭头指示标确定转子旋转方向。

广州潽拓光电——Pfeiffer普发 Vacuum SplitFlow 80  PM P04 010D  Oil: PM 143 740-T  S(N2):60L/s N:1500Hz F:90000l/min

       Pfeiffer普发 Split Flow 80 Turbo Pump 是德国普发公司专门为氦质谱检漏仪设计的一款分流涡轮分子泵，请见Pfeiffer Split Flow 80。

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广州潽拓光电——OSAKA大阪 TG30FVAB真空机器制作所本着普及和推广真空技术应用的目的，与1950年在日本的商业中心城市大阪设立建厂。创业以来，大阪真空坚持紧跟世界先端技术、把新技术与顾客需求相结合，成功地开发、研制了各种的真空产品，不断地向世界各地的用户提供大量的***设备，为产业界以及先端科研领域的发展做出了重大贡献。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵，适用于刻蚀、反应离子刻蚀，离子束加工，低压化学气相沉积，外延及离子注入等工艺操作。

广州潽拓——大阪真空的代表产品涡轮分子泵（TMP）一直以来在半导体和FPD行业得到了广泛应用。作为TMP必须具备以下高技术性能：抽吸大量气体，并且根据使用要求的不同，需要在抽吸腐蚀性气体的同时维持真空环境。2、油雾真空泵排出的气体中含有微量残油，长期吸入***健康，排放工艺气体的房间必须有良好的通风条件。我们通过长期的研究实践，在产品的高度可靠的设计、制造、检测的同时提供充实完善的***服务，以满足各种严酷环境下的使用要求，为客户提供持久耐用的产品。