pfeiffer分子泵维修***满意的选择「潽拓光电」
作者:潽拓光电2021/11/11 13:23:00






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莱宝真空泵油选择与使用指导

一、真空泵油的作用及性能要求

油封式旋转真空泵的泵油,必须符合相关要求。作为一个运动介质,泵油在真空泵中起着以下作用作用:

1.密封——防止大气进入排气阀,有相对运动零件间的间隙密封(转子与定子,旋片与转子槽等)

2.润滑——相对运动件间的润滑,降低磨损

3.冷却——油在泵内与油箱间循环,散热,冷却

4.保护——形成保护油膜,避免水及化学蒸汽凝结腐泵内部件。



莱宝真空泵配件耗材:、油雾分离器/油气分离器/排气过滤芯,真空泵叶片,碳晶片,油过滤器/油隔,空气过滤器/空气滤芯/风隔,空气总成,进口真空泵油,散热风扇,风扇叶,风扇罩,油管,油封,轴承,白润轴承,轴承套,进气滤芯,排气阀,排气阀片,逆止阀,逆止阀片,气镇阀,视油镜,密封套件,连轴器,连轴器垫,连轴器防震胶,真空表,压力表,调节阀

行业应用:PCB板业,CCL行业,***T行业,木工行业,印刷行业,光电机械,化工行业。




广州潽拓光电

BOC STP-iXA3306CV涡轮分子泵维修,爱德华STP-iXA3306CV分子泵


BOC STP-iXA3306 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内***的性能,可将小型电源供给集成到机载控制器内(成熟的 STPiXA3305 系列的新技术)。

BOC STP-iXA3306分子泵的高度等于 STP-XA2703/XA3203 的高度,也等于BOC STP-iXA3305 系列(不带其电源供给 (iPS-1200))的高度。特别是在半导体制造设备及平面显示器等制造设备方面,以真空技术为基础,进行了各种技术开发,已经和正在提供作为制造工艺重要部分的***设备。 这一完全集成的产品易于安装且占地面积小,可作为所有应用工具的一体化解决方案。

BOC STP-iXA3306分子泵特性与优势:

与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%

可以配置为运行腐蚀性制程

紧凑型设计,包括完全集成的控制器

性自传感磁力轴承系统

数字化 5 轴控制

BOC STP-iXA3306分子泵用途:

溅射

离子注入源,射束线泵送和站

金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物)

电子回旋共振 (ECR) 刻蚀

薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD


广州潽拓光电——Pfeiffer Hipace80分子泵

分子泵应用一:Hipace 80,Hipace 400 用于分子束外延 MBE,主要针对金属薄膜及材料器件的氧化物外延生长。

分子泵应用二:Hipace 80,Hipace 300 用于SPECS 近常压光电子能谱仪设备

涡轮分子泵 Hipace 80 技术参数:分子泵型号接口 DN抽速 l/s压缩比高启动压强mbar极限压力全转速气体流量hPa l/s启动时间重量进气口排气口氮气

N2氦气He氢气 H2氮气

N2氮气N2hPa氮气N2minkgHiPace 806316675848> 1X101122< 1X10–71.31.752.4




分子泵应用:

分析仪器:电子显微镜、检漏、小型质谱、表面分析、残余气体分析

半导体:PVD inspection bonding MBE load-locks

工业:***技术、工业检漏、隔离真空、灯管制造




广州潽拓光电——Bayard-Alpert/Pirani技术

IONIVAC型复合真空机ITR 90

-量程覆盖12个数量级:

-ITR 90真空计复合运用热传导和电离技术

-连续测量范围达 10E-10到 1000mbar

-系统带有显示器可单独使用

-RS-232 C接口




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