石英加速度计主要由表头、激振电路和测频电路等组成。其中表头由阻尼板、金属摆、力敏感石英梁组成。具有量程大、精度高、抗过载性强、体积小、功耗低、价格廉等特点。

物理特性

尺寸:

φ25.4×30 mm

重量

<80 g

工作性能:

量程

± 15 g

分辨率

50μg

零偏

≤|±15|mg

电流标度因数

2.9±0.5 mA/g

0g 2h 稳定性

≤150μg

1g 2h 稳定性

零偏温度系数

≤|±150|μg/℃

标度因数温度系数

≤|±150| ppm/℃

噪声(负载840Ω)

≤|±10|mv

电气特性;

工作电压范围

|±12|～|±15|V

工作电流

≤|±20| mA

使用环境；

工作温度范围

-40℃ ~ +120℃

存储温度范围

-50℃ ~ +125℃

振动

20g (20~2000Hz)

冲击

1000g, 0.5ms, 1/2sin

速度和加速度传感器的工作原理往往是利用了位移的求导数学变换得来的，与位移的检测密不可分。由于数学处理的迅速，通过积分变换也能够快速获取系统的位移。因此通过速度传感器和加速度传感器也能够获取系统准确的位移量。加速度计是一种电子传感器，可以测量作用在物体上的加速度，以确定物体在空间中的位置并监视物体的运动。由于这种表面选用挠性支承技术所以称为石英挠性加速度计，且其结构与工艺大大简化，这种石英挠性加速度计已广泛运用于各类现代惯性系统中。三轴加速度传感器工作原理及结构由温度系数低导磁性能好的软磁资料组成，磁钢选用导磁性能比较良好的永磁资料，用无心磨床加工。挠性的片的材料为温度性能好的石英玻璃，外形选用超声加工而成，挠性元件的加工一般选用化学腐蚀办法；也可以选用反响离子蚀刻工艺加工整个挠性的片，但造价很高。

石英挠性加速度传感器主要有3个重要的部分：石英摆片组件、电容式传感器以及伺服控制系统。石英挠性加速度计按其应用分为：船用，航空航天用，车载等。石英挠性加速度计实际上就是一种可以精度测量加速度的传感器，是加速度计大家族中的一员。石英挠性加速度计在线测试与分析系统-石英挠性加速度计评价指标主要由零偏和标度因数组成。长期监测石英挠性加速度计的输出特性，能有效地分析其性能退化过程。

  是一种摆式加速度计，摆组件弹性的连接在石英晶体经过特殊加工形成的挠性支撑上，既消除了摩擦，同时引入了所需的弹性力矩。惯性力使检测质量块偏离中心位置，通过检测位置变化，通过石英挠性支撑经伺服放大器形成力平衡闭环测量系统，使加速度计的输出量与输入量成准确的比例关系，因此具有高精度特性。主要由力矩器、检测质量块、电容检测器、石英摆片、伺服放大器、壳体构成。结构简单、体积小、重量轻、灵敏度高、热稳定性好、功耗小、动态特性好、精度高、可靠性好、是惯性导航与制导以及其它惯性***系统中被广泛应用的一种惯性器件。目前，石英挠性加速度计已经形成了系列化产品，产品类型从高精度的ug级加速度计到石油钻井用抗恶劣环境加速度计、耐高温加速度计，工作温度可达185℃。为各类系统的导航、制导、控制、调平、监测等提供惯性加速度信号。