利用石英挠性加速度计可以测量航天器低频微振动,同时也可实现航天器在轨微角振动的间接测量。针对航天器特点,结合石英挠性加速度计工作特性,提出用石英挠性加速度计测量航天器微振动的方法,给出微振动加速度、角加速度、角速度和角位移的不确定度分析,根据测量原理给出了各影响因素对测量合成不确定度的计算方法和分析结果。3轴石英挠性加速度计具有优良的长期稳定性、重复性、启动性能、环境适应性及可靠性高等特点。产品既可用于静态测试也可以用于动态测试，也是一款标准的振动传感器。

石英挠性加速度近些年维持每一年8%的提高，现阶段在民用的好几个行业获得广泛运用，石英挠性加速度计是摆式加速度计的一种，以结构力学三大定律做为基本概念准确测量加速度。3轴石英挠性加速度计关键由左右扭矩器、摆部件及其伺服电机回路构成。在其中电磁线圈根据粘胶方式与石英摆片固连，连在线圈骨架与摆片组成摆部件，完成检验品质的作用，用于比较敏感外部键入加速度。石英挠性加速度计具备构造简易、精度好的特性。在惯性导航系统软件、大地测量学系统软件中有普遍的运用。这类加速度计的关键缺陷是，准确测量加速度超出700M/，其离散系统偏差显著扩大，另外不可以承担很大的冲击性震动。

石英挠性加速度计是一种力平衡摆式加速度 计, 因其具有精度高, 启动快及体积小等特点而被广泛应用，石英挠性加速度计在工作时, 内部力矩 器磁场为质量摆提供电磁反馈力用以平衡惯性力。因此, 内部磁场的均匀性和稳定性对加速度计的众 多性能, 特别是标度因数有重要影响。3轴石英挠性加速度计是一种摆式加速度计，摆组件弹性的连接在石英晶体经过特殊加工形成的挠性支撑上，既消除了摩擦，同时引入了所需的弹性力矩。惯性力使检测质量块偏离中心位置，通过检测位置变化，通过石英挠性支撑经伺服放大器形成力平衡闭环测量系统，使加速度计的输出量与输入量成准确的比例关系，因此具有高精度特性。