石英挠性加速度传感器的特点

石英挠性加速度传感器为单轴力矩反馈式加速度计，通过检测质量来检测外界的加速度信号，再经伺服电路解调、放大，在输出电流信号正比于加速度信号。微加速度传感器应用具有、大量程、小型化、耐高温特点，石英加速度计的应用各种车辆的加速度测量（过载、刹车、运动记录），高塔、桥梁、水坝和建筑物的摇摆、振动、倾斜的测量。油井钻进方向控制，物理测量和振动，各种振动、冲击、离心实验设备的校准与标定。

微加速度传感器应用具有***水平的新型高等传感器。它精度高、长期稳定性好、体积小巧。是对加速度、速度、距离、摇摆、振动、倾斜等物理量敏感、测量、控制方面的换代产品。石英挠性加速度计市场在近几年保持每年8%的增长，目前在多个领域得到广泛应用，石英挠性加速度计是摆式加速度计的一种，以力学三大定律作为基本原理测量加速度。石英挠性加速度计工作原理主要由上下力矩器、摆组件以及伺服回路组成。其中线圈通过胶粘方法与石英摆片固连，连同线圈骨架与摆片构成摆组件，实现检测质量的功能，用以敏感外界输入加速度。

随着惯性系统低成本化的发展，开始出现新型的非液浮的所谓干式加速度计。由于这种仪表采用挠性支承技术，所以称为石英挠性加速度计，且其结构与工艺大大简化。目前这种石英挠性加速度计已广泛应用于各类现代惯性系统中。微加速度传感器应用挠性的材料为温度性能很好的石英玻璃，外形采用超声加工而成，挠性元件的加工一般采用化学腐蚀方法；也可以采用反应离子蚀刻工艺加工整个挠性材料，微加速度传感器应用由伺服电路中差动电容检测器检测，其输出为电流，此电流经电流积分器变成输出电压，然后跨导补偿放大器把电压变成输出电流，该输出电流的大小与输入加速度成正比。