石英光学加速度计挠性的材料为温度性能好的石英玻璃，外形采用超声加工而成，挠性元件的加工一般采用化学腐蚀方法；也可以采用反应离子蚀刻工艺加工整个挠性材料，但造价很高。石英光学加速度计在结构上强行磁极对顶固定，互为对方的反向磁片，在间隙间形成均匀磁场。当有加速度a输入时，由挠性材料及力矩线圈组成的敏感质量块相对平衡位置运动而产生惯性力Fa或惯性力矩，然后通过换能器将此机械运动转换成电信号，再通过伺服放大器变成电流信号，电流信号被馈送到处于恒定磁场中的力矩器而产生反馈力Foc或反馈力矩Moc，与输入加速度引起的惯性力Fa或惯性力矩相平衡，直到再次***到平衡位置。通过分析石英挠性加速度计的温度误差机理,研究在不同温度条件下的静态输出特性.利用多次温度实验数据,采用更小二乘和多项式拟合的方法建立了石英挠性加速度计温度误差补偿模型.实验结果表明:温度误差补偿后,石英挠性加速度计在-20℃到50℃范围内刻度因子漂移量由10-4数量级提高到10-5数量级,零偏漂移量由800μg提高到52μg.

石英加速度传感器工作原理

随着惯性系统低成本化的发展，在20世纪60年代中期开始出现新型的非液浮的所谓干式加速度计。由于这种仪表采用挠性支承技术，所以称为石英挠性加速度计，且其结构与工艺大大简化。目前这种石英挠性加速度计已广泛应用于各类现代惯性系统中。加速度传感器工作原理压阻式传感器利用材料的压阻效应将物理量转换为电学量的方式来实现信号测量。 石英光学加速度计是根据惯性原理，通过石英挠性支撑，加上***的电子技术构成的精密仪表。石英加速度计是由表头组件和伺服电路俩部分组成。表头组件包括检测质量的部件、上力矩组件和下力矩组件三个部分组成。检测质量组件石油镀膜石英摆片和粘接在上面的俩个力矩器线圈组成。当有加速度或倾斜作用于检测质量时，质量应惯性而偏离平衡位置，电容检测器差动的检测摆质量的位移量。

石英挠性加速度计是一种力平衡摆式加速度 计, 因其具有精度高, 启动快及体积小等特点而被广泛应用，石英挠性加速度计在工作时, 内部力矩 器磁场为质量摆提供电磁反馈力用以平衡惯性力。因此, 内部磁场的均匀性和稳定性对加速度计的众 多性能, 特别是标度因数有重要影响。石英光学加速度计是一种摆式加速度计，摆组件弹性的连接在石英晶体经过特殊加工形成的挠性支撑上，既消除了摩擦，同时引入了所需的弹性力矩。惯性力使检测质量块偏离中心位置，通过检测位置变化，通过石英挠性支撑经伺服放大器形成力平衡闭环测量系统，使加速度计的输出量与输入量成准确的比例关系，因此具有高精度特性。