三向加速度传感器挠性的材料为温度性能好的石英玻璃，外形采用超声加工而成，挠性元件的加工一般采用化学腐蚀方法；也可以采用反应离子蚀刻工艺加工整个挠性材料，但造价很高。三向加速度传感器在结构上强行磁极对顶固定，互为对方的反向磁片，在间隙间形成均匀磁场。当有加速度a输入时，由挠性材料及力矩线圈组成的敏感质量块相对平衡位置运动而产生惯性力Fa或惯性力矩，然后通过换能器将此机械运动转换成电信号，再通过伺服放大器变成电流信号，电流信号被馈送到处于恒定磁场中的力矩器而产生反馈力Foc或反馈力矩Moc，与输入加速度引起的惯性力Fa或惯性力矩相平衡，直到再次***到平衡位置。通过分析石英挠性加速度计的温度误差机理,研究在不同温度条件下的静态输出特性.利用多次温度实验数据,采用更小二乘和多项式拟合的方法建立了石英挠性加速度计温度误差补偿模型.实验结果表明:温度误差补偿后,石英挠性加速度计在-20℃到50℃范围内刻度因子漂移量由10-4数量级提高到10-5数量级,零偏漂移量由800μg提高到52μg.

石英挠性伺服加速度计是一个力平衡式的伺服系统。其特点是精度高、稳定性好、分辨率高。特别是其敏感元件是由接近零温度系数的熔融石英玻璃制成，使整个加速度计具有滞后小、重复性高、漂移小、热稳定性高等优点。三向加速度传感器用途：各种交通工具的低频震动，线加速度及惯性运动的精密测量或控制。各种大型构件、桥梁、水坝、高层建筑、船泊等的摇摆、低频震动及倾斜的精密测量和控制。机器人姿态角控制、 自动驾驶仪控制元件及平台水平位置的精密测量和控制。也可对高耸建筑和大跨度建筑的微震测量。

三向加速度传感器具有***水平的新型高等传感器。它精度高、长期稳定性好、体积小巧。是对加速度、速度、距离、摇摆、振动、倾斜等物理量敏感、测量、控制方面的换代产品。石英挠性加速度计市场在近几年保持每年8%的增长，目前在多个领域得到广泛应用，石英挠性加速度计是摆式加速度计的一种，以力学三大定律作为基本原理测量加速度。石英挠性加速度计工作原理主要由上下力矩器、摆组件以及伺服回路组成。其中线圈通过胶粘方法与石英摆片固连，连同线圈骨架与摆片构成摆组件，实现检测质量的功能，用以敏感外界输入加速度。