3轴石英挠性加速度计工作原理及结构由温度系数低导磁性能好的软磁材料组成，磁钢选用导磁性能比较良好的永磁资料，用无心磨床加工。挠性材料为温度性能好的石英玻璃，外形选用超声加工而成，挠性元件的加工一般选用化学腐蚀办法；也可以选用反响离子蚀刻工艺加工整个挠性材料。3轴石英挠性加速度计产品具有量程较大，稳定性能好，精度高，气密性能好的特点，主要应用在惯性导航系统，平台惯导系统，并在航空、航天、舰船、惯性测量和制导等行业。

石英挠性加速度计是根据惯性原理，通过石英挠性支撑，加上***的电子技术构成的精密仪表。石英挠性加速度计是一种通***感石英摆片相对位置变化来检测加速度的精密惯性传感器，石英挠性加速度计按其应用分为：船用，航空航天用，车载等。石英挠性加速度计的组成. 由于这种表面选用挠性支承技术所以称为石英挠性加速度计，且其结构与工艺大大简化，这种石英挠性加速度计已广泛运用于各类现代惯性系统中。工作原理及结构由温度系数低导磁性能好的软磁资料组成，磁钢选用导磁性能比较良好的永磁资料，用无心磨床加工。

3轴石英挠性加速度计用于载体的微重力测量系统和高精度惯导系统中，并可用于高精度的静态角度测量系统中。 3轴石英挠性加速度计是在液浮摆式加速度计的基础上发展起来的，两者的区别主要在于石英挠性加速度计的检测质量不是浮动的，而是弹性地连接在挠性梁支撑上,引入了弹性力矩，因此这种加速度计精度更高、抗千扰能力强、测量范围大、过载能力强。3轴石英挠性加速度计是一种检测差动电容的伺服电路，同石英电容传感器配接在一起，构成一个完整石英挠性加速度计。加速度计广泛用于惯导系统中，测量运动载体的加速度、速度、位置倾角等。