随着惯性系统低成本化的发展，在20世纪60年代中期开始出现新型的非液浮的所谓干式加速度计。石英挠性加速度计用于载体的微重力测量系统和高精度惯导系统中,并可用于高精度的静态角度测量系统中。由于这种仪表采用挠性支承技术，所以称为石英挠性加速度计，且其结构与工艺大大简化。石英挠性加速度传感器为单轴力矩反馈式加速度计。石英挠性加速度计结构轭铁由温度系数低，导磁性能好的软磁材料组成。挠性的材料为温度性能的石英玻璃，外形采用超声加工而成，挠性元件的加工一般采用化学腐蚀方法；也可以采用反应离子蚀刻工艺加工整个挠性，但造价很高。单轴石英挠性加速度计产品广泛用于航空航天高精度导航系统等。片

石英挠性加速度传感器为单轴力矩反馈式加速度计，通过检测质量来检测外界的加速度信号，再经伺服电路解调、放大，输出电流信号正比于加速度信号。石英挠性加速度是惯性导航系统核心的惯性器件之一,其输出精度受到温度变化的影响,为了降低温度对石英挠性加速度计精度的影响,在研究石英挠性加速度计数学模型的系数随温度变化规律的基础上,设计了加速度计温度模型辨识试验方法,利用数据拟合方法建立了加速度计温度模型.应用该模型提出了石英挠性加速度温度补偿算法,针对该算法的有效性,进行了实验验证,结果表明应用该温度补偿算法,可使加速度计的测量精度提高一个数量级,补偿效果明显.该温度补偿算法可有效地应用于捷联式惯性导航系统等领域中。

单轴石英挠性加速度计通过高精度的误差标定和补偿技术保证系统精度。0.2°动态精度，20min快速稳定，无需***，免维护，三年保修，十年以上器件保障，接近传统电罗经成本，为民用商船量身打造。石英挠性加速度计主要有4个分类，分别是SRJ-1、SRJ-2、SRJ-3和SRJ-4等，产品具有量程较大，稳定性能好，精度高，气密性能好的特点，主要应用在惯性导航系统，平台惯导系统，并在航空、航天、舰船、惯性测量和制导等行业。

单轴石英挠性加速度计由于这种仪表采用挠性支承技术，所以称为石英挠性加速度计，且其结构与工艺大大简化。目前这种石英挠性加速度计已广泛应用于各类现代惯性系统中。石英挠性加速度计是导航与制导系统中常用的一种惯性元件，其表头阻尼影响加速度计的动态性能但相关研究却鲜有报道，基于此提出一种适用于石英挠性加速度计的压膜阻尼分析方法。单轴石英挠性加速度计精度更高、抗千扰能力强、测量范围大、过载能力强。石英挠性加速度计：一般为单轴力矩反馈式加速度计，是通过检测质量以检测外界的加速度信号，再经伺服电路解调、放大，输出电流信号正比于加速度信号的加 速度计，广泛用于航空航天高精度导航系统、石油钻井测斜或地质勘探捷联系统。