空气由空调箱经风管与无尘室内之空气过滤器（HEPA）进入无尘室，并由无尘室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。乱流无尘室靠送风气流不断稀释室内空气，将污染空气逐渐稀释，来实现洁净的。气次数决定定义中的净化级别（换气次数越多，净化级别越高）。此型式适用于无尘室等级1,000-100,000级。

     复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。⑴洁净隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。无尘室内防止微粒子污染的基本原则：不携入在无尘室内不携入微粒子的方法有：作业员进入无尘室前，机台、零件携入前应进行清洁处理。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。

    个人物品，例如烟、钱包、纸巾和纸制品，都要存放在办公桌或者储物柜里，不能把它们带进洁净室。除非得到管理人员的特别许可，否则，在洁净室里，衣服口袋只能是空的。洁净管道（CleanTube）：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。苏州卓宇泰公司要求在进入洁净室之前，首先要把眼镜和护目镜上所有看得见的微粒污染物擦掉。干燥的皮屑、呼出的空气和唾液都可能会污染产品。一次性鞋套每天更换一到两次。