无尘室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。
每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。洁净室用鞋要合脚且穿起来舒适为基本条件,容易洗涤,底则采用塑胶底,布质部分则采用与洁净衣相同材质即可,鞋子穿着时洁净衣脚跟部分应完全塞入紧密包着。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。⑴洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。
无尘室内防止微粒子污染的基本原则:
不发生
在控制大污染源--人在无尘室内的微粒子发尘量的同时,也应控制第二大污染源—制造机台的发尘量。因物品在移动时,所产生的摩擦及接触剥离会造成发尘,而物品在移动时也会有微粒子的发生。故为了控制发尘量达到小限度应采取以下对策:
减少接触剥离发尘的动作形态;
采用磨耗发尘小的材质;
采用发尘小的润滑油;
机台应用空压浮上的非接触化工作原理。
简易无尘室是一种可提供局部高洁净环境的空气净化设备。简易无尘室主要由箱体、风机、初效空气过滤器、阻尼层、灯具等组成,外壳喷塑。
产品配制
1.框架:以工业铝材(或不锈钢方通、铁方通喷塑)作为框架稳固、美观、不生锈、不产尘;
2.防静电垂帘:四周围用防静电垂帘(或钢化玻璃),防静电效果好、透明度高、网格清晰、柔韧度好、不变形、不易老化;
3.风机滤网机组FFU:,采用离心风机,内部净化级别可达100-100K级;
4.内部采用净化室净化灯,不产尘;
版权所有©2024 产品网