复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。⑴洁净隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。风速测量的目的，是确认滤网送出的气流满足设计规范，其次是确认气流的均匀度。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。

  在电子元件制品的制造过程中，微粒子污染对成品率有重大影响，故应在过程中严格控制微粒子的数量，遵守“不携入、不发生、不储备、除去”四项基本原则以防止微粒子污染。

　　无尘室内防止微粒子污染基本原则：

      排除/除去

　　在无法避免大量微粒子发生的机台中，为了不让无尘室内产生微粒子，因此直接做对外排气的动作，即所谓的局部排气。针对排气的对策如下：由于导入同量的外气是必要的，但会伴随大量的能源消耗。建议不要佩戴悬垂式耳环、项链、胸针和其他凸出来的或者悬挂的饰品，即便它们一般都是藏在衣服里面，不要佩戴这些饰物。所以无法说是理想的对策。因此尽可能地在压缩排气量的同时，不仅仅是向无尘室外排气，负离子检测仪而应采用将除去粒子后的空气再回流到无尘室内之对策。

    在洁净室中，人是决定微粒污染物产生的重要因素。洁净室内工作的人员都应当充分了解个人卫生习惯对洁净室洁净程度的影响有多大，这才是很重要的。

   苏州卓宇泰为您介绍洁净室工作人员应遵循的规程，有关服装和个人用品方面的要求，供读者参考。至于珠宝首饰，工作人员可以戴结婚和订婚戒指，但不要戴有尖角或者边沿锋利的戒指，因为它们可能会刺穿手套或者衣服。如果一定要戴这种戒指，就需要在戴手套和穿洁净服之前用带子把它们缠起来。空气由空调箱经风管与无尘室内之空气过滤器（HEPA）进入无尘室，并由无尘室两侧隔间墙板或高架地板回风。建议不要佩戴悬垂式耳环、项链、胸针和其他凸出来的或者悬挂的饰品，即便它们一般都是藏在衣服里面，不要佩戴这些饰物。因为这些东西可能会干扰洁净室或者实验室的正常活动。