若能彻底实施“不携入”技术,无尘室内的洁净度就可以维持。无尘室中不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。但现实中人和物品的频繁出入及制造机台的掣动,在广大的无尘室内要有完全洁净度是不可能的。因此“不储备”技术快速地在过滤器中应用以除去已发生的微粒子变得非常重要。通常已发生的微粒子会依据重力及静电吸附力而停留在周边的物体表面。突发性的振动及不稳定的气流会使这些累积微粒在空气中再度扬起,增加了重大微粒子污染的***性。
在电子元件制品的制造过程中,微粒子污染对成品率有重大影响,故应在过程中严格控制微粒子的数量,遵守“不携入、不发生、不储备、除去”四项基本原则以防止微粒子污染。
无尘室内防止微粒子污染基本原则:
排除/除去
在无法避免大量微粒子发生的机台中,为了不让无尘室内产生微粒子,因此直接做对外排气的动作,即所谓的局部排气。并装局部无尘室(CleanSpot):将无尘室等级10,000~100,000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用。针对排气的对策如下:由于导入同量的外气是必要的,但会伴随大量的能源消耗。所以无法说是理想的对策。因此尽可能地在压缩排气量的同时,不仅仅是向无尘室外排气,负离子检测仪而应采用将除去粒子后的空气再回流到无尘室内之对策。
洁净室吸尘器是无尘厂房、车间的强力真空吸尘器,可迅速、便捷、地完成清洁工作。特点:超高过滤效果,可有效的除去对呼吸气管造成***的***粉尘,减少呼吸***的发生。无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。当你使用吸尘器时,可以减少您清洁厂房的次数,因为它不会二次扩散灰尘,并可净化室内空气。有完备的各类吸嘴,任何角落皆可轻松清洁干净。较强的吸力可吸除更深层的粉尘。设计新颖轻巧,符合***工学,操作时不会腰酸背痛,减少***不适。吸尘器可专门针对防尘爆及***粉尘,如石棉,铅等物质,美国太空总署特别使用吸尘器清除货仓内的微细粉尘。
洁净室(无尘室)内一定洁净度下气流速度的确定,随洁净室用途等具体情况而异,它不仅受室内发尘量及过滤器效率还受其他因素影响,就工业洁净室而言,影响洁净度及选择气流速度的因素主要是:
(1)室内污染源:建筑物组件、人员数量及操作活动、工艺设备、工艺材料及工艺加工本身等都是尘粒释放源,根据具体情况而异,变化很大;
(2)室内气流流型及分布:单向流要求均匀、平等的流线,但会受到工艺设备布置和位置变动及人员活动情况等的干扰形成局部涡流;而非单向流要求充混合,避免死角及温度分层;
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