无尘室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、***空气等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。无尘室内防止微粒子污染的基本原则：不携入在无尘室内不携入微粒子的方法有：作业员进入无尘室前，机台、零件携入前应进行清洁处理。

       无尘室中不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。无尘室主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。不要随便拉拽手套和猛地脱下手套，应该慢慢地把手套从手上退下来。

   洁净室（无尘室）吸尘器的主要组成：

   大扒头：当清扫地面面积较大时，使用大扒头可有效快速的提高工作效率。

   小扒头：清扫面积相对较小时，小扒头可方便快捷的扫除工作台底部的灰尘和颗粒。

   圆毛刷：工作范围主要集中在工作台台面，清楚工作台面细微的小颗粒

   伸缩杆：增大清扫范围领域。

   软管：机器正常工作时，吸收的小颗粒，灰尘，杂物，经过吸口有软管传递到过滤系统。

   集尘袋：洁净室吸尘器的过滤系统，也是为重要的环节，收集人眼能分辨的小颗粒，对保护马达和过滤器有重要作用。

   电源开关：控制吸尘器的启动和关闭。

   过滤器：过滤器是吸尘器的第四大过滤系统，也是后一个环节，过滤器能过滤0.012um的小颗粒，过滤之后的空气达到100级以上。