复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。简易无尘室主要由箱体、风机、初效空气过滤器、阻尼层、灯具等组成，外壳喷塑。⑴洁净隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。

     影响无尘室的气流因素很多，如制程设备、人员、无尘室组装材、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。洁净室内工作的人员都应当充分了解个人卫生习惯对洁净室洁净程度的影响有多大，这才是很重要的。一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应设于无尘室空间与隔墙板间距2/3之处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走；若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部分的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染，良率也势必降低。

    在洁净室中，人是决定微粒污染物产生的重要因素。洁净室内工作的人员都应当充分了解个人卫生习惯对洁净室洁净程度的影响有多大，这才是很重要的。

   苏州卓宇泰为您介绍洁净室工作人员应遵循的规程，有关服装和个人用品方面的要求，供读者参考。A、材质：棉质发尘量大，以下依次为棉、的确良、去静电纯涤纶、尼龙。至于珠宝首饰，工作人员可以戴结婚和订婚戒指，但不要戴有尖角或者边沿锋利的戒指，因为它们可能会刺穿手套或者衣服。如果一定要戴这种戒指，就需要在戴手套和穿洁净服之前用带子把它们缠起来。建议不要佩戴悬垂式耳环、项链、胸针和其他凸出来的或者悬挂的饰品，即便它们一般都是藏在衣服里面，不要佩戴这些饰物。因为这些东西可能会干扰洁净室或者实验室的正常活动。