影响无尘室的气流因素很多,如制程设备、人员、无尘室组装材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于无尘室空间与隔墙板间距2/3之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;风机滤网机组FFU:,采用离心风机,内部净化级别可达100-100K级。若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部分的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。
发菌量工作人员产生的污染
1)皮肤:人类通常每四天完成一次皮肤的完全脱换,人类每分钟脱落约1000片皮肤(平均大小为30*60*3微米)
2)头发:人类的头发(直径约为50~100微米)一直在脱落。
3)口水:包括钠、酶、盐、钾、氯化物及食品微粒。
4)日常衣物:微粒、纤维、硅土、纤维素、各种***。
5)人类静止和坐立每分钟将产生10000个大于0.3微米的微粒。
6)人类在头部和躯干做动作时每分钟将产生1000000个大于0.3微米的微粒。
7)人类以0.9m/s的速度行走时每分钟将产生5000000个大于0.3微米的微粒。
(1)FFU用于老建筑物改造成洁净室时,其综合经济性一般往往可取。
(2)洁净度要求严的洁净室,末级过滤器满布率时,对大的系统采用FFU,当前还是不经济的;对小系统有意义作具体比较。
(3)对洁净度要求不甚严的洁净室,末级过滤器满布率≤40%时对大系统综合经济性往往相差不多,但对IC工厂而言FFU系统的灵活性是重要的,因此当前IC工厂对过滤器满布率≤40%时,采用FFU系统已经普遍。
在洁净室中,人是决定微粒污染物产生的重要因素。洁净室内工作的人员都应当充分了解个人卫生习惯对洁净室洁净程度的影响有多大,这才是很重要的。
苏州卓宇泰为您介绍洁净室工作人员应遵循的规程,有关服装和个人用品方面的要求,供读者参考。至于珠宝首饰,工作人员可以戴结婚和订婚戒指,但不要戴有尖角或者边沿锋利的戒指,因为它们可能会刺穿手套或者衣服。如果一定要戴这种戒指,就需要在戴手套和穿洁净服之前用带子把它们缠起来。建议不要佩戴悬垂式耳环、项链、胸针和其他凸出来的或者悬挂的饰品,即便它们一般都是藏在衣服里面,不要佩戴这些饰物。因为这些东西可能会干扰洁净室或者实验室的正常活动。通常已发生的微粒子会依据重力及静电吸附力而停留在周边的物体表面。
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