无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、***空气污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。　单流向型无尘室，很多都是设计成垂直层流，因此风速均匀度非常重要，只有均匀的垂直层流，才能有效排除微粒污染。非单流向型无尘室，由于微粒控制的观念是稀释，不是立即排除，一般而言其换气量远比风速重要，因此多只需要测量风量。针对排气的对策如下：由于导入同量的外气是必要的，但会伴随大量的能源消耗。

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   简易无尘室是快速方便建立的一座简易洁净室，简易无尘室具备多种洁净等级及空间搭配可以根据使用需求设计制作，因此其简便运用弹性大安装容易且施工期短以及可移性为其主要特点，简易无尘室同时可针对在一般等级的洁净室中局部地区需要高洁净度的地方做局部增设以降低成本。空气由空调箱经风管与无尘室内之空气过滤器（HEPA）进入无尘室，并由无尘室两侧隔间墙板或高架地板回风。

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     每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。5米左右，覆盖面积约10m2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。

   洁净室（无尘室）吸尘器的主要组成：

   大扒头：当清扫地面面积较大时，使用大扒头可有效快速的提高工作效率。

   小扒头：清扫面积相对较小时，小扒头可方便快捷的扫除工作台底部的灰尘和颗粒。

   圆毛刷：工作范围主要集中在工作台台面，清楚工作台面细微的小颗粒

   伸缩杆：增大清扫范围领域。

   软管：机器正常工作时，吸收的小颗粒，灰尘，杂物，经过吸口有软管传递到过滤系统。

   集尘袋：洁净室吸尘器的过滤系统，也是为重要的环节，收集人眼能分辨的小颗粒，对保护马达和过滤器有重要作用。

   电源开关：控制吸尘器的启动和关闭。

   过滤器：过滤器是吸尘器的第四大过滤系统，也是后一个环节，过滤器能过滤0.012um的小颗粒，过滤之后的空气达到100级以上。