层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于无尘室等级需定较高之环境使用，一般其无尘室等级为Class 1~100。

   其型式可分为二种：

   ⑴水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，灰尘随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。

   优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。

   ⑵垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。

   优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。

   缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。

    无尘室的洁净度往往受到气流的影响，换言之，即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。无尘室系利用HEPA、ULPA过滤空气，其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。头罩材质为无尘纸（或无纤纸）制成，帽子材质则与洁净衣同，二者在穿戴使用时，除了只露出眼睛或脸表面部分外，其他部分均须包覆，在头部部分连接上衣处也必须完全盖住，不能留有空隙，头发亦不能露出来。然而无尘室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些发生的尘埃一旦扩散，即无法保持洁净空间，因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。

无尘室内防止微粒子污染的基本原则：

　   不携入

　　在无尘室内不携入微粒子的方法有：

　　作业员进入无尘室前，机台、零件携入前应进行清洁处理；

　　进入无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等。

　　通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后，才能进入无尘室。

　　机器及材料带进无尘室前，应尽可能在密封状态下带进无尘室前室***后用超纯水擦拭，经风淋室吹淋后才进入无尘室。

　　无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。

    无尘洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计建成的无尘洁净房间。

    无尘洁净室的原理。洁净室是利用HEPA、空气净化设备，其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。控制气流可防止微粒子累积，但对于带电表面的微粒累积就无法防止。然而洁净室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些发生的尘埃一旦扩散，即无法保持洁净空间，因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。