真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。低温泵：利用低温表面捕集气体的真空泵。有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构间隙容易控制，转子装配方便，泵占地面积小。较高且齿轮拆装不便，润滑机构也相对复杂。

真空度低，这不仅是因为受到结构上的限制，更重要的是受工作液饱和蒸气压的限制。用水作工作液，极限压强只能达到2000~4000Pa。立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。但泵的较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。蒸发离子泵：泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华（或蒸发）而覆在泵内壁的吸气材料上，以实现抽气的一种真空泵。

检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。概括地讲从大气到真空有一个很大的范围，按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。

 立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。但泵的较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。随着真空技术在应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。概括地讲从大气到真空有一个很大的范围，