智能气路系统功能模块

根据不同研究方向需求不同，智能气路系统可以实现以下基本功能模块：

气体流量单独控制：用户可通过屏幕上显示的气路原理图直接设定内部质量流量控制器（MFC）流量，设定范围为2%-F.S.

电磁截止阀单独控制：用户可通过屏幕上显示的气路原理图直接控制电磁截止阀关断/开启

自动分段进气功能：按照客户给出的流量设定值及时间长度自动完成分段进气，客户可针对流量实现二次编程，自动进气

压力报警和处理：配合压力传感器及电磁阀的联动，用户可自定义设定压差上限与下限，实现压差上限下限报警或关断功能，保护实验结果和气路系统

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基本功能模块

数据分析及导出 ：所有数据可按照用户设定的时间段进行导出，方便实验数据分析

实时曲线图，历史曲线图 ： 简单直观查看历史曲线和实时曲线，方便过程监控

自动浓度配气 ：针对配气实验需要，可实现浓度自动换算，或根据浓度值自动分配流量

MFC故障诊断：针对不同型号的MFC可实现故障诊断、报警、处理等功能。

自动吹扫：根据用户需要，自动设定吹扫时间及吹扫方式

自动检漏 ：可通过截止阀的联动，配以一定算法，实现自动检漏功能

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系统整体要求

实验室气体采用集中供气方式，由实验室外供气区域用管路引进。除了洁净空气由空气压缩系统直接产生外，其余气体都是采用高压气瓶供气。每种气体都要有主供和备供气瓶，并安装自动切换面板进行供气控制，保证不间断供气。另外主要的控制阀门和减压阀门都应安装在实验室外。

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