派瑞林

Parylene用独特的真空气相沉积工艺制备，由活性小分子在基材表面“生长”出完全敷形的聚合物薄膜涂层，具有其他涂层难以比拟的性能优势。它能涂敷到各种形状的表面，包括尖锐的棱边，裂缝里和内表面。

派瑞林英文名：Parylene六十年代中期美国Union Carbide Co. 开发应用的一种新型敷形涂层材料，它是一种对二l的聚合物，根据分子结构的不同，Parylene可分为N型、C型、D型、HT型等多种类型。

这种室温沉积制备的0.1-100微米薄膜涂层，厚度均匀、致密无针l孔、透明无应力、不含助剂、不损伤工件、有优异的电绝缘性和防护性，是当代l有效的防潮、防霉、防腐、防盐雾涂层材料。Parylene是一种保护性高分子材料，中文名，聚对，派瑞林它可在真空下气相沉积，Parylene活性分子的良好穿透力能在元件内部、底部，周围形成无针l孔，厚度均匀的透明绝缘涂层，给元件提供一个完整的防护涂层，抵御酸碱、盐雾、霉菌及各种腐蚀性气件的侵害，因为Parylene不是液体，所以涂敷过程中不会聚集，桥接式形成弯月面。所有PTFE都是由碳和氟原子，经过自由基聚合工艺制成，这些PTFE聚合物分子量非常高，分子链结构是碳和氟的长直链分子，碳氟键具有很高的强度，因此PTFE聚合物表现出优异的低摩擦、耐热性和耐化学性。

派瑞林涂层的特点：

沉积特点：

高分子膜的聚合生长 --单分子的生长模式

无固化应力 --无膨胀/收缩及变形

非液相过程 --无流挂及边角效应

高度同形性 --底面、内表面、边缘及侧面均匀涂层

无催化剂 --高纯度、无溶剂助剂无放气现象。

涂层厚度可精l确控制：

涂层厚度取决于原料消耗量及气体单体在沉积腔内的驻留时间;

通常的沉积速率为0.5-5um/hour,与沉积温度,自由基浓度有关.