气体质量流量控制器怎么来控制液氮的流量呢?液氮是指液态的氮气。液氮是惰性,无色,无臭,无腐蚀性,不可燃,温度极低的液体,汽化时大量吸热接触造成。在工业中,液态氮是由空气分馏而得,将空气净化后,在加压、冷却的环境下液化,借由空气中各组分之沸点不同加以分离。
气体质量流量计和流量控制器是在20℃,1个大气压条件下标定的,主要是指气体在1分钟的体积流量单位。热式流量计传感器包含两个传感元件,一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值,使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时,电加热消耗的能量,也可以说热消散值,与流过气体的质量流量成正比。
流量控制器使用注意事项介绍
在使用热式气体质量流量控制器是应注意,额定电源电压为24VDC,功率与量程无关。电压或功率不足可能影响设备工作,如果电源针脚接错可能导致电路板烧坏,无法通讯,请勿在气源关闭的情况下打开控制器设定值,否则阀门会持续发热,影响寿命。本公司的气体质量流量控制器在上游或下游安装时,都没有直管段的要求,可以任意位置安装或倒置安装。
流量控制器的应用中IST流量传感器的作用
IST-AG通过特殊的薄膜工艺,将高精度加热器,温度传感器或电堆封装在单一芯片内,构成流量测量的主要传感单元(Figure 2) ,通过流量传感器以响应绝大多数流量测量场景,薄膜技术的应用使得IST AG流量传感器具有很好的结构与性能优势。为此IST流量传感器在MFC中的应用工采网推荐瑞士IST 质量流量传感器 - FS5.0.1L.195的升级版IST-AG FS7流量传感器。
IST公司的FS5.0.1L.195是一个热质流量传感器,用于各种气流应用.热质流量传感器使用热传递原则,确定流体的流率.随着流体通过传感器,热质由传感器传递到媒体.此关序取决于流动速率.随着流动增加,热量被传递.通过了解媒体的温度,即可通过为保持恒定温度差的电压补偿量得出流速。
而IST-AG FS7流量传感器宽广的测量范围允许将传感器直接置于被测气路当中,免去复杂的旁路设计。传感器具有陶瓷基底与钝化玻璃层进行保护,具有较佳的长期稳定性。
因此在终端应用中,质量流量控制器的可靠性多半是许多半导体工艺的基础。MFC 的失准或制造缺陷会导致晶圆产量下降,甚至会损坏整个晶圆。采用IST流量传感器则可以为MFC产品带来如下优势:
1、足够宽的测量范围使得在许多场景中不必使用旁路,而进行直接测量,提高测量的准确性。
2、薄膜技术带来极高的响应灵敏度,在一般测量状态就可以瞬间响应压力浪涌。
3、小巧的体积与简单的安装方式,给气路结构优化创造更大的空间。
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