湖北电子气体流量计型号信赖推荐「厚礼博」
作者:厚礼博2022/7/5 11:32:24
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视频作者:厚礼博精密仪器(北京)有限公司






什么是流量控制器

质量流量控制器,即MassFlowController(MFC),不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散,氧化,分子束外延,CVD,等离子刻蚀,溅射,离子注入,以及真空镀膜设备,光纤熔炼,微反应装置,混气配气系统,毛细管测量气象色谱仪,光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金,制药等。特点:精度高,重复性好。

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流量控制器

使用挥发性液体蒸发汽, 气压很低, 如何定制质量流量控制器的低压降产品?

部分用户使用挥发性液体蒸发汽做气源, 气压很低, 用普通MFC, 不能正常工作。这时用户需要向供货商特别声明, 定制低压降的质量流量控制器。通常可以定制工作压差低于0.01MPa的MFC, 这时MFC的工作压差范围, 也会变小。

注意使用挥发性液体蒸发汽时, 不能让汽化物在MFC中结露, 结露会影响MFC的正常工作。通常流体密度变化小,可以认为流速与流体质量流量正比,因此流速的补偿可以转化为流量变化的非线性因素进行补偿。为了防止结露, 可以对管路和MFC适当加温, 但MFC的工作环境温度通常不得超过50℃。如果用户要MFC的工作环境温度超过65℃以上, 需要特殊购买高温MFC产品。




一定要按实际使用气体标定显示吗?

不一定。想要了解更多热式质量流量控制器的相关内容,请及时关注厚礼博网站。按实际实际使用气体标定显示,显示的是实际气体的流量, 比较直观。但在很多的实际应用场合,只需要找到一个合适的流量参数并保证测量和控制的重复性,至于该气体的实际质量流量是多少,用户并不是特别关心。在这种情况下,您直接使用厂家的标准出厂产品(氮气标定显示)也可以。当然,如前面所提到的,您在选定流量规格时,需要换算一下,以选择合适的量程。对于某些用户,同一个产品有时可能会通不同的气体,这种情况下,直接使用氮气标定出厂的产品更方便。



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