流量控制器的工作压差范围是个什么概念?

质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门, 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程, 在工作的过程当中, 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降, 即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa, 若压差低于值(0.1 MPa), 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能关闭时流量不能小于2%F.S。当气体流速增加，冷却效应越大，使须保持热电阻间恒温的电流也越大。用户使用MFC时, 无论用户工作的反应室是真空还是高压, 应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内, 并且要求气压要相对稳定。

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流量控制器

热式质量流量器的基本原理是利用外部热源对管道内的被测流体加热，热能随流体一起流动，通过测量因流体流动而造成的热量（温度）变化来反映出流体的质量流量。

当流体成分确定时，流体的定压比热为已知常数。因此由上式可知，若保持加热功率恒定，则测出温差便可求出质量流量；若采用恒定温差法，即保持两点温差不变，则通过测量加热的功率也可以求出质量流量。由于恒定温差法较为简单、易实现，所以实际应用较多。为了保持两个温度传感器的固定温差需要电路对加热答元件提供更多的功率，电路中输出功率的大小与流体的质量有关，由此测量流专量。这种流量计多用于较大气体流量的测量。

为避免测温和加热元件因与被测流体直接接触而被流体玷污和腐蚀，可采用非接触式测量方法，即将加热器和测温元件安装在薄壁管外部，而流体由薄壁管内部通过。非接触式测量方法，适用于小口径管道的微小流量测量。四、设备的精度高价位也会高，并且还需要精心的维护，在振动以及使用条件进行经常检查等，确保精度以及仪表的安全。当用于大流量测量时，可采用分流的方法，即仅测量分流部分流量，再求得总流量，以扩大量程范围。

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质量流量控制器主要参数

质量流量精度： ±0.002×流量±零点漂移

密度测量精度： ±0.003g／cm3

密度测量范围： 0.5~1.5g／cm3

温度测量范围： ±1°C

传感器相关数据：

环境温度： －40~60°C

介质温度： －50~200°C

防爆类型： iBⅡBT3

关联设备： 配套变送器

(3) 变送器相关数据：

工作温度： 0~60°C

相对湿度： 95%以下

电 源： 220±10%VAC,50Hz或24±5%VDC,40W