流量控制器在高压条件下如何使用?
质量流量控制器的工作压差范围通常比较小, 要在高压条件下正常使用需要特别注意三点: 一, 是要选择耐压符合要求的MFC; 二, 是要挑选工作压差范围大的产品型号; 三, 要在MFC气路前面加减压阀, 稳定入口气压, 在MFC下游加背压阀, 稳定反应室和MFC出口的气压, 适当调节减压阀和背压阀, 要保证MFC的工作压差不会超过规定的范围。虽然该定义是一个物理标准,可能说明不了什么问题,因为余下的设定值的36。只要做到以上三点, MFC就能够在高压条件下稳定工作。
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流量控制器如何测混合气体的流量?
质量流量计是采用感热式测量百,通过分体分子带走热量多少从而来测量流量,因为是用感度热式测量,所以不会因为气体温度、压力的变化从而影响到测量的结果 。
即气体流过加热元件时将热量带走,带走的热量与气体的流速问和气体的密度成正比。为了保持两个温度传感器的固定温差需要电路对加热答元件提供更多的功率,电路中输出功率的大小与流体的质量有关,由此测量流专量。
此方法,日系发动机常用。
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流量控制器的性能特点
可按设计或实际要求设定流量,能自动消除系 统的压差波动,保持流量不变。
克服系统冷热不均现象,提高供热(供冷)质量。
完全解决近端压差大,远端压差小的矛盾。
减少系统循环水量,降低系统阻力。
减少设计工作量,不需要对管网进行繁琐的水力平衡计算。
降低调网难度,把复杂的调网工作简化为简单的流量分配。
免除多热源管网热源切换时的流量再分配工作。
流量显示值均为测试台上随机标定,流量(m3/h) 。
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