臭氧杀菌的过程属于生***学氧化反应，其原理有三点，、氧化分解***内部葡萄糖所需的酶，使***灭活；第二、直接与***、病毒作用，***它们的细胞器和DNA、RNA，使***的新陈代谢受到***，导致***；臭氧以氧气为原料生产，这里的氧气原料指不同浓度含量的氧气，包括高浓度氧气和空气。第三、透过细胞膜***，***细胞内，作用于外膜的脂蛋白和内部的脂多糖，使***发生通透性畸变而溶解。 　　臭氧杀菌快速，但凡事有利有弊，如果单位空间里的臭氧浓度过高，个人健康会受到影响

臭氧可以氧化分解***内部氧化葡萄糖所必须的葡萄糖氧化酶，并直接与***、病毒发生作用，***其细胞器和核糖核酸，分解DNA、RNA、蛋白质、脂质类和多糖等大分子聚合物，使***的物质代谢生长和繁殖过程遭到***。还可以渗透细胞膜***，***细胞膜内作用于外膜脂蛋白和内部的脂多糖，使细胞发生通透性畸变，导致细胞的溶解。即使有好的扩散系统，从反应池或反应塔排出的气体中也会含有较多的臭氧，这种含有一定量臭氧的空气是不适于呼吸的。纵观无菌技术对微生物的左右原理分为抑菌、杀菌和溶菌三种，臭氧灭菌消毒属于溶菌剂，即可达到“彻底、地消灭物体内部所有微生物”

臭氧发生器单元各零部件应光洁，不得有任何油污、水渍、灰尘及其它物质。臭氧发生器内部防腐涂层应表面光洁，不得存在起皮、剥落及其它缺陷；高压电输配系统整洁，不得存在引起输配电异常的不良情况和外来物。外部的外观质量包括：外壳表面光滑平整，不得存在、凸凹等影响外观的缺陷；然而，同样高的氧化还原电位会导致臭氧***动物的粘液和呼吸***，以及植物中的***（超过约0。各处保护、装饰涂层应均匀，不存在起皮、剥落及其它缺陷。外壳上各附属物（件）的安装位置准确，各部分均不应存在妨碍安装、检修、擦拭等缺陷。