高温高尘烟气通过金属膜除尘脱硝一体化系统，金属膜除尘装置将尘量降低至洁净烟气，再经过30-40孔以上脱硝催化剂，达到脱硝目的，除尘脱硝后的高温烟气进入余热回收利用系统。已有的等离子技术有：电子束法、脉冲电晕法、流光放电技术及微波诱导等离子法。SCR脱硝流场分布不理想会造成氨氮混合不均匀、烟道积灰严重、催化剂层的烟气流速不均匀，导致催化剂层局部区域流速过低或过高、流速偏角过大等问题，造成催化剂堵塞或磨损。而催化剂堵塞和磨损加剧了速度分布不均匀，形成循环。

氯酸氧化（Tri NOx-NOxSorb）同时脱硫脱硝技 术氯酸氧化工艺是一种湿式处理工艺。燃烧烟气中去除氮氧化物的过程，防止环境污染的重要性，已作为世界范围的问题而被尖锐地提了出来。氯酸常采 用电化学工艺获得，然后用于氧化 NO 和 SO2（亦 能氧化***金属），该过程在氧化塔中进行；后续工 艺采用 Na2S 和 NaOH 来吸收残余的酸性气体，吸 收过程在碱式吸收塔中完成。该工艺实现了在同一 套设备中同时脱硫脱硝的目的，脱除率可达 95%以 上，并且没有催化剂失活、催化能力下降等问题。 氯酸对 NO 和 SO2 的氧化过程比较复杂，其中间产 物 ClO2 对 NOx 的去除起了重要作用。

电子束法和脉冲电晕法都受限于电源，而流光 放电等离子体技术则克服了这个弊端。它是利用正 极性发电，在相似的电极结构和电压水平条件下， 利用流光头表面产生的高能电子冲击化学键，产生 自由基离子，从而引发脱硫脱硝反应。

此外，微波诱导等离子法已用于脱硫的研 究，反应过程中产生的固体是硫铵化肥，无二次污 染。工业炉窑高温烟气除尘脱硝一体化方案产品特点：直接高温除尘避免烟气结露，保持系统良好的清灰效果和可靠运行。其原理是在含有的烟气中加入 NH3，烟气中的 SO2 分子、NH3 分子和其它气体分子在微波诱导等 离子区被高能电子撞击，形成自由基或离子，进而 形成硫铵化肥。此技术尚处于实验室研究阶段，模 拟烟气的实验脱硫效率可达 96%，对于脱硝的效果 尚未见报道。