空气分子污染AMC作为IC工厂关心的问题于20年前先由日本人提出，近年来，世界Ic卡技术展开疾速，IC芯片日益微型化，目前曾经有赢径为0.4lilln的世界小的非接触型无线射频识别芯片。AMC对当前的IC消费其潜在的污染比粒子污染要普遍多，粒子污染控制只需求肯定粒径及个数，但对AMC控制而言，除了受芯片线宽的减少而变化外，并受工艺、工艺设备、工艺材料及传送系统等的影响。多机冷水机组更灵活冷水机组如果要求较大的制冷量，不宜选用单机，宜采用多机制，电机宜用变频调速，以降低起动功率。

在地质上应避开断层、流砂，选择地质构造稳定（解释:稳固安定；没有变动)、土层密实、地下水位变化较小的地区。合理利用地形、地貌，例如利用河流、地面高差等自然条件，减少环境振动对厂区及洁净车间的影响。洁净车间选址应采用***的测量仪器（appliance），它应具有良好的频响、高灵敏度(Sensitivity)及信噪比，在工程建设中必须坚持采用实地测试（TestMeasure)、分析(Analyse)比较的方法选择理想的厂址，切忌未经测试分析而由行政部门主观规定。其目的是防止气态污染物对***和生产的危害，减少对大气和环境的污染，确保达标排放、回收有用资源、建立清洁生产工艺。

①　场地环境的振动测试。主要调查拟建场地的环境振动参数(parameter)，厂区周围公路、铁路等交通运输所产生的振动影响，评估拟建场地是否可行，并根据实测参数选择结构形式，以抵御环境振动对结构的影响，保证所采用的结构形式使场地的环境振动在结构上不至于增大。②　主体建筑竣工后，在洁净车间内各种设备未安装前进行环境振动对主体结构影响的测试。无尘车间在非常多的叫法，但是看起来好像都是差不多的，只在字面上有所不同而已，导致大家不好选择，无菌车间和净化车间哪个好。目的是了解建筑物(building)自身的振动特性，验证(Experimental)结构方案，为洁净车间内各种振动设备的隔振提供技术资料。